氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

氣體進(jìn)入進(jìn)氣管道接頭后大部門流量流過分流器通道，空氣流量控制器價(jià)格，其中很小一部門進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。因?yàn)榉至髌魍ǖ赖奶厥饨Y(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)這兩部門氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)由預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度，此時(shí)通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理丈量這一小部門氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號(hào)輸入電路板，經(jīng)由放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等，這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。

氣體質(zhì)量流量控制器對(duì)于氣體的要求

1，氣體必須潔凈且沒有顆粒物， 沒有液體， 這就要求在MFC/MFM的上游氣路中安裝干燥器和過濾器。

2，空氣流量控制器，輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn)， 不能超過該產(chǎn)品要求的較大壓力。

3、產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng)， 用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無效，空氣流量控制器公司，還容易產(chǎn)生危險(xiǎn)。

氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器、通道、電磁調(diào)節(jié)閥和電路板等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入放大器放大， 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，空氣流量控制器多少錢， 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量積算儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源， 設(shè)定電位器， 和三位閥控開關(guān)等。

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