濺射鍍膜基本原理:充(Ar)氣的真空條件下,使氣進(jìn)行輝光放電,這時(shí)(Ar)原子電離成離子(Ar ),離子在電場(chǎng)力的作用下,加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材,靶材會(huì)被濺射出來(lái)而沉積到工件表面。 濺射鍍膜中的入射離子,金屬不銹鋼鍍鈦服務(wù)電話,一般采用輝光放電獲得,在l0-2Pa~10Pa范圍,所以濺射出來(lái)的粒子在飛向基體過(guò)程中,易和真空室中的氣體分子發(fā)生碰撞,使運(yùn)動(dòng)方向隨機(jī),沉積的膜易于均勻。
此外,多弧鍍涂層顏色較為穩(wěn)定,尤其是在做 TiN 涂層時(shí),每一批次均容易得到相同穩(wěn)定的金黃色,令磁控濺射法望塵莫及。多弧鍍的不足之處是,在用傳統(tǒng)的 DC 電源做低溫涂層條件下,當(dāng)涂層厚度達(dá)到0.3μm 時(shí),沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難。而且,薄膜表面開(kāi)始變朦。多弧鍍另一個(gè)不足之處是,由于金屬是熔后蒸發(fā),真空不銹鋼鍍鈦服務(wù)電話,因此沉積顆粒較大,裝飾不銹鋼鍍鈦服務(wù)電話,致密度低,耐磨性比磁控濺射法成膜差。

產(chǎn)生原因:產(chǎn)品周轉(zhuǎn)運(yùn)輸或在爐內(nèi)生產(chǎn)時(shí)素材受到污染,產(chǎn)品表面有塵點(diǎn)、毛絲等,PVD出爐后灰塵脫落露出底材顏色。
解決方案:縮短產(chǎn)品在爐外停滯時(shí)間及爐內(nèi)潔凈度管控,減少異物掉落在產(chǎn)品表面。
產(chǎn)生原因:主要原因是產(chǎn)品表面臟污,不銹鋼鍍鈦服務(wù)電話,膜層無(wú)法在產(chǎn)品上沉積或結(jié)合力差,在自然或人為的因素下產(chǎn)品表面漏出底材。
解決方案:將產(chǎn)品清洗干凈,避免污染產(chǎn)品,確保表面潔凈度。
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