潽拓——愛德華分子泵}，分子泵

廣州潽拓，汕尾愛德華分子泵，EPX180L 半導(dǎo)體干式真空泵 EPX180L維修保養(yǎng)

主要特性和優(yōu)勢(shì)

       占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一，愛德華分子泵STP1000過(guò)熱，EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝 選項(xiàng)。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和 安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

       受zhuanli保護(hù)的泵機(jī)構(gòu) - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

          超清潔機(jī)構(gòu) - 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度地延長(zhǎng)了泵的 使用壽命。

        運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內(nèi)實(shí)現(xiàn)低噪聲。

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  愛德華IPX100真空泵維修 BOC EDWARDS IPX100


      分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。

這種泵具體可分為：

1)牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。

2)渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

3)復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復(fù)合型的分子真空泵。

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廣州潽拓維修愛德華Edwards EXT 250分子泵

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