如何通過質(zhì)量流量控制器判斷有沒有氣體通過？

可以使用惰性氣體接到MFC進(jìn)氣端，然后將出氣口接一根軟管再通進(jìn)水里，如果軟管口有氣泡冒出，證明MFC是有氣體通過的，不過需要注意防止液體倒吸進(jìn)MFC內(nèi)，也可以用手將出氣口堵死，熱式質(zhì)量流量計(jì)，觀察瞬時流量是否有下降，如果有下降，也證明有氣體通過，此時堵住出氣口的手指也能感受到一定的壓力。

質(zhì)量流量控制器能用比例閥代替嗎？

不可以的，一般我們常說的比例閥就是電磁調(diào)節(jié)閥，雖然可以起到一定的流量調(diào)節(jié)作用，熱式質(zhì)量流量計(jì)價格，但無法做到準(zhǔn)確，穩(wěn)定的流量控制，而氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）是在電磁調(diào)節(jié)閥的基礎(chǔ)上增加了控制電路和流量檢測傳感器和比例分流，是可以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確、穩(wěn)定的流量控制，并且可以將流量信號穩(wěn)定持續(xù)輸出成電壓信號或電流信號，比例閥根本滿足不了MFC能起到的作用。

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa， 若壓差小于0.1 MPa， 有可能操控流量達(dá)不上滿量程值; 若高過0.3MPa，熱式質(zhì)量流量計(jì)多少錢， 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過，即電磁閥漏氣?？蛻魬?yīng)用MFC時， 無論客戶工作的反應(yīng)腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài)， 都應(yīng)保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規(guī)定壓差范圍內(nèi)， 而且壓差要相持續(xù)穩(wěn)定。

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