氣體質(zhì)量流量控制器的零點(diǎn)漂移？

微小的零點(diǎn)漂移是不會(huì)影響傳感器的測(cè)量精度和數(shù)值的，但是如果是零點(diǎn)漂移較大或用戶在使用時(shí)，對(duì)零點(diǎn)漂移的數(shù)值有疑問(wèn)，那么這時(shí)候如何解決漂移顯得非常重要。 熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)會(huì)有零點(diǎn)漂移情況，零點(diǎn)漂移也就是管道中已經(jīng)沒(méi)有介質(zhì)流動(dòng)但質(zhì)量流量計(jì)仍顯示流量值。如果是零點(diǎn)出現(xiàn)大幅漂移，而且每次漂移差別很大，就需要檢查管道內(nèi)使用有大量的壓力或氣體殘留，需要打開(kāi)各種閥門(mén)，全部排空氣體管路，防止設(shè)備或管路憋壓。

一般造成質(zhì)量流量計(jì)零點(diǎn)漂移的因素有許多，解決質(zhì)量流量計(jì)零漂問(wèn)題，首先要定期進(jìn)行零點(diǎn)檢查和調(diào)整，二是需要和工藝配合來(lái)解決。一般情況下，管道壓力變化造成介質(zhì)微量流動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)的零點(diǎn)漂移，出現(xiàn)這種漂移時(shí)，電子流量控制器廠家，要關(guān)閉流量控制器或流量計(jì)前段的電磁閥（流量控制器不能當(dāng)做截止閥來(lái)使用），電子流量控制器哪家好，使管道內(nèi)處于完全零流狀態(tài)或在管道適當(dāng)位置設(shè)置排氣口，消除管道內(nèi)的壓力和氣流，從而達(dá)到消除零點(diǎn)漂移。

氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體， 包括腐蝕性氣體和特殊氣體， 但是要注意， 對(duì)于使用腐蝕性氣體和特殊氣體， 需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料。用戶在訂貨時(shí)， 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體， 以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤， 造成嚴(yán)重?fù)p失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體， 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對(duì)于三氯化硼、HF等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高， 通常要求不高的場(chǎng)合， 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明， MFC都采用氟橡膠密封， 可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體， 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體，電子流量控制器， 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠， 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

什么是氣體質(zhì)量流量控制器？

氣體質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。

質(zhì)量流量控制器不僅具備質(zhì)量流量計(jì)的作用，更主要的是，它能控制氣體流量，電子流量控制器多少錢(qián)，即客戶可按照需求設(shè)定流量，MFC會(huì)自動(dòng)地將流量穩(wěn)定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)工作壓力有起伏或自然環(huán)境溫度有轉(zhuǎn)變，也不會(huì)使其偏移設(shè)定值。簡(jiǎn)易地說(shuō)，質(zhì)量流量控制器可以看成是一個(gè)穩(wěn)流設(shè)備， 是一個(gè)可以手動(dòng)式設(shè)置或與電子計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流設(shè)備。

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