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艾明坷手套箱優(yōu)點
1.密閉循環(huán)
手套箱內(nèi)的惰性氣體經(jīng)循環(huán)風(fēng)機和凈化器密閉循環(huán),山西凈化材料,不斷地除水除氧
2.自動控制再生
除水除氧材料可以再生,再生過程由程序控制
3.自動清洗
手套箱內(nèi)的氣氛置換通過自動控制的清洗閥門完成
4.箱體壓力控制
手套箱內(nèi)壓力通過PLC自動控制, 工作壓力 /- 10mbar內(nèi)可以自由設(shè)定,凈化材料價格,超出 /- 12mbar系統(tǒng)自動保護(hù)
5.真空泵自動控制
真空泵要求在系統(tǒng)需要時自動開啟
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手套箱故障分析
一、按鍵無法操作
1. 手套箱壓力是否正常;
2. 檢查PLC的通訊線是否松動;
3. 公共端24M、M、COM等的接線有松動。
二、真空泵操作不了
1. 請查看真空泵泵體上的按鈕開關(guān)是否打開,“0 OFF” “1 ON”;
2. 查看真空泵的斷路器是否跳閘。
三、真空擋板閥打不開
1. 工作氣壓力太低,壓力范圍應(yīng)該是0.4-0.6MPa之間;
2. 擋板閥未通電。
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真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極,薄膜的質(zhì)量關(guān)系到器件質(zhì)量和壽命。在有機真空腔室中設(shè)有多個放置有機材料的蒸發(fā)舟,加熱蒸發(fā)舟蒸鍍有機 材料;在金屬真空腔室中設(shè)有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟,金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作,電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品托架上,其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案,并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。
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