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早的原子模型是湯姆孫的梅子布丁模型。發(fā)表于1904年，湯姆遜認(rèn)為電子在原子中均勻排列，就像帶正電布丁中的帶負(fù)電梅子一樣。1909年，的盧瑟福散射實(shí)驗(yàn)地了這模型。盧瑟福根據(jù)他的實(shí)驗(yàn)結(jié)果，于1911年，設(shè)計出盧瑟福模型。

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電子顯微鏡將聚焦的電子束入射于樣本。由于電子束與樣本的相互作用，電子的性質(zhì)會有所改變，像移動方向、相對相位和能量。細(xì)心地分析這些數(shù)據(jù)，即可得到分辨率為原子尺寸的樣本影像。使用藍(lán)色光，普通的光學(xué)顯微鏡的分辨率，因受到衍射限制，懸臂起重機(jī)廠家，大約為200nm

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