精密和超精密加工技術(shù)簡(jiǎn)介

就先進(jìn)制造技術(shù)的技術(shù)實(shí)質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動(dòng)化兩大領(lǐng)域。精密加工和超精密加工是先進(jìn)制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。前者包括了精密加工、超精密加工、微細(xì)加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；后者包括了設(shè)計(jì)、制造和管理的自動(dòng)化，它不僅是快速響應(yīng)市場(chǎng)需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動(dòng)條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動(dòng)化技術(shù)才能達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動(dòng)化則有賴于精密加工才能達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

電容式非接觸式測(cè)微儀，通過(guò)電容測(cè)頭可以測(cè)量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測(cè)量精度為納米級(jí)。測(cè)微儀由機(jī)箱與傳感模塊組成，可組成多測(cè)量通道數(shù)。

模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測(cè)量。

它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對(duì)面被測(cè)目標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測(cè)量任何金屬時(shí)，傳感器仍是線性的。

由于超精密加工的精度等級(jí)和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測(cè)手段，才能驗(yàn)證工件是否達(dá)到了相應(yīng)的技術(shù)要求。目前，超精密測(cè)量?jī)x正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。在精密超精密加工和測(cè)量中，對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了更為嚴(yán)格的要求，即要求測(cè)量誤差比加工誤差高一個(gè)數(shù)量級(jí)。目前，超精密測(cè)量?jī)x正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達(dá)到1?nm的測(cè)量元件；美國(guó)HP、zygo、英國(guó)Taylor等公司的測(cè)量?jī)x器均可以滿足納米測(cè)量的需求。

制造業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進(jìn)制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。該方法已應(yīng)用于某高精度精密離心機(jī)主軸回轉(zhuǎn)誤差精密測(cè)試中,實(shí)測(cè)表明,轉(zhuǎn)速在300rpm內(nèi)精密離心機(jī)純回轉(zhuǎn)誤差測(cè)量結(jié)果為0。精密加工和超精密加工是先進(jìn)制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。當(dāng)前，在制造自動(dòng)化領(lǐng)域，進(jìn)行了大量有關(guān)計(jì)算機(jī)輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開(kāi)發(fā)，計(jì)算機(jī)集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個(gè)重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場(chǎng)，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。