真空法氦質(zhì)譜檢漏

采用真空法檢漏時(shí)，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣，當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣就會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測(cè)量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來檢測(cè)這些小洞的存在與否。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣，可以實(shí)現(xiàn)漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣，可以實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測(cè)量。

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大氣壓差的漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映帶壓被檢產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空法的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)主要有QJ3123-2000《氦質(zhì)譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗(yàn)》，主要應(yīng)用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設(shè)備等。

為什么用氦氣作為檢漏的氣體？

1.氦氣分子量小，擴(kuò)散性強(qiáng)、滲透率高，即可以通過較小的孔。

2.氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm，這說明正?？諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小，即氦本底很好。

3.氦氣是無毒無色無味的惰性氣體，這就意味著，正常情況下其可以作為介質(zhì)在所有的物體中存在，且不發(fā)生反應(yīng)。

4.在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其它物質(zhì)區(qū)分。

5.綜合以上幾個(gè)特點(diǎn)，氦氣作為一種檢漏的示蹤氣體，是較佳的選擇。

氦檢漏步驟

1、抽真空至5Pa以下就可以開始檢測(cè)。

2、插上檢漏儀電源,關(guān)閉上部手動(dòng)擋板閥,開啟檢漏儀總電源，此時(shí)，“放氣”燈亮起，等待系統(tǒng)運(yùn)行

3、當(dāng)”系統(tǒng)正?！奔芭赃叺膬蓚€(gè)燈都顯示為綠色時(shí),觀察預(yù)置參數(shù),應(yīng)為10-15,一般取15，觀察數(shù)值，應(yīng)為10的-8至-9次方時(shí)，可以開始檢漏(等待幾分鐘)

4、按'檢漏”鍵，緩慢開啟頂部手動(dòng)擋板閥，注意:檢漏口的壓強(qiáng)不得超過10MPa,否則機(jī)器易損壞,

5、 數(shù)值穩(wěn)定后,先記錄下來，這就是. '本底”

6、逐個(gè)將氦氣充入焊縫，并封堵插入口，將數(shù)值變動(dòng)記錄下來。全部完成充氦后再觀察20分鐘，看數(shù)值有無大的變動(dòng)。

7、關(guān)機(jī)時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉上部手動(dòng)擋板閥,然后開啟放氣鍵，后關(guān)電源。