真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側的壓力、壓差和氣體的種類等。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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真空設備檢漏

一個真空系統(tǒng)(或容器)要求做到絕dui不漏氣是不現(xiàn)實的，也是沒有必要的，所以就要根據真空系統(tǒng)實際應用的具體條件，對漏率指標提出合理的要求，只要漏孔的漏率已足夠小，使得平衡壓強低于真空系統(tǒng)工作所需的壓強，這些漏孔就是允許的。真空系統(tǒng)正常工作所能允許的做大漏氣量，稱da允許漏率，簡稱允許漏率。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。此值不僅是設計真空系統(tǒng)的一項主要指標，也是檢漏的依據。

如果已知允許的總氣載，而沒有具體指明究竟有多大，那么，在設計合理的前提下。da允許漏率Q漏=0.1Q總，不同真空系統(tǒng)所允許的總漏率也不同。

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并預先根據環(huán)境中氦的含量對檢漏儀進行標定。若需在抽真空方式下準確地找到漏孔的

位置，可以通過對可yi位置噴氦并檢驗漏率是否有明顯的上升來完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測量待測器件內部氣體經由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預先向待測器件內充入一定氦氣，

封閉測試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對待測器件表面的可yi部位進行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測器件內部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發(fā)聲地點。但是，由于嗅探方式是通過檢測器壁外的大氣來進行測量的，大氣中的氦會帶來一個較高的漏率本底。這個本底雖可通過置零來清除，但仍會降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。