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溫濕度
潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。不論進(jìn)入或離開無塵室,須按規(guī)定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區(qū)域?yàn)橹?,尤不可在無塵室內(nèi)邊走邊脫。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別 是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度。
無塵車間設(shè)計(jì)需要哪些參數(shù)
1、所屬行業(yè) 2、凈化等級(jí)、溫濕度要求 3、吊頂高度、層高、梁下高度 4、建筑平面圖人物流方向 5、凈化車間內(nèi)所有設(shè)備的發(fā)熱量、功率 6、是否需要設(shè)計(jì)排風(fēng) 7、給水、排水的位置 8、工作人員總數(shù),男女比例
無塵車間技術(shù)應(yīng)用
無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過濾器效率的提高等,對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題已在實(shí)踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進(jìn),對(duì)是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn):懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來,受到關(guān)注。然而對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。以下對(duì)這些問題的情況分別作歸納和分析。
1、生產(chǎn)過程中接觸成品的操作必須戴上一次性手套,手套要完整、無破損、不透水,當(dāng)手被污染后必須按上述洗手消毒程序重新洗手消毒?!?
2、控制操作人員自身新陳代謝物直接有效的方式為:在生產(chǎn)前換工作鞋、換工作服、戴工作帽、佩一次性口罩,工作衣、帽應(yīng)穿戴整齊,頭發(fā)不得露在衣帽外面,禁止涂口紅、化妝、噴香水、涂指甲油、佩戴任何飾品、手表等。
3、進(jìn)入潔凈室員工,必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn),并要維持z好狀態(tài)的觀念。
4、員工進(jìn)入潔凈室數(shù)目以維持z小限度為原則(愈小愈好),并須依潔凈室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出潔凈室。出則相反方向進(jìn)行,唯不須經(jīng)緩沖通道或風(fēng)淋室脫塵處理。
無菌車間的特點(diǎn):
無菌車間工程的設(shè)計(jì)要求 無菌車間培植要求使用與打點(diǎn) 無菌車間工程的設(shè)計(jì)要求。
無菌車間無菌水平的測(cè)定體例: 取通俗肉湯瓊脂平板、 改良馬丁培育基平板各3個(gè)(平板直徑均9厘米), 置 無菌車間各工作位置上, 開蓋曝露半小時(shí), 然后倒置進(jìn)行培育, 測(cè)細(xì)1菌總數(shù)應(yīng)置37℃溫箱培育48小時(shí); 測(cè)霉菌數(shù)則應(yīng)置27℃溫箱培育5天。