極值監(jiān)控法：當(dāng)膜厚度增加的時(shí)候其反射率和穿透率會(huì)跟著起變化，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時(shí)候，就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(zhǎng)的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大，因?yàn)楫?dāng)反射率或者透過率在極值附近變化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長(zhǎng)處。

3.定值監(jiān)控法：此方法利用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長(zhǎng)四分之一波位，然后由計(jì)算機(jī)計(jì)算在波長(zhǎng)一時(shí)總膜厚之反射率是多少，此即為停止鍍膜點(diǎn)。

水晶振蕩監(jiān)控：利用石英晶體振動(dòng)頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個(gè)不好之處就是當(dāng)膜厚增加到厚度后，振動(dòng)頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此時(shí)須使用新的石英振蕩片。

臺(tái)州市椒江騰業(yè)真空鍍膜有限公司發(fā)展壯大里 我們始終為客戶提供好的產(chǎn)品和技術(shù)支持 、健全的售后服務(wù)，優(yōu)惠的真空鍍膜價(jià)格，真空鍍膜廠家。

由水平調(diào)整的自準(zhǔn)直儀發(fā)出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺(tái)上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，

使反射光束進(jìn)入自準(zhǔn)直儀接收視場(chǎng)，記錄兩維角度偏差。真空鍍膜加工

按有限元計(jì)算的真空狀態(tài)下的補(bǔ)償量再次調(diào)整，顯然，此時(shí)的反射光束已遠(yuǎn)離自準(zhǔn)直儀接收視場(chǎng)，但一旦真空室進(jìn)入真空狀態(tài)，

反射光束又重新進(jìn)入自準(zhǔn)直儀的接收視場(chǎng)，記錄此時(shí)的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

對(duì)于真空鍍膜加工單片膜色不均勻產(chǎn)生的原因

主要是由于基片凹凸嚴(yán)重，與傘片曲率差異較大，基片上部、或下部法線與蒸發(fā)源構(gòu)成的蒸發(fā)角差異較大。造成一片鏡片上各部位接受膜料的條件差異大，形成的膜厚差異大。?

另外鏡片被鏡圈（）邊緣部遮擋、鏡圈（）臟在蒸鍍時(shí)污染鏡片等等也會(huì)造成膜色差異問題。?

改善思路：改善鏡片邊緣的蒸發(fā)角。

改善對(duì)策：?

㈠?條件許可，用行星夾具；?

㈡?選用傘片平坦（R大）的機(jī)臺(tái)；?

㈢?根據(jù)傘片孔位分布，基片形狀，制作專門的鋸齒形修正板。?

㈣?如果有可能，把蒸發(fā)源往真空室中間移動(dòng)，也可改善單片的膜色均勻性。?㈤?改善鏡圈（），防止遮擋。?

㈥?注意旋轉(zhuǎn)傘架的相應(yīng)部位對(duì)邊緣鏡片的部分遮擋?㈦?清潔鏡圈（）?㈧?改善膜料蒸發(fā)狀況。