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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。
對(duì)于金屬內(nèi)襯泵則將前面剛擰緊的螺母放松半圈。再將調(diào)整螺栓上前面的螺母擰緊,使軸承組件后移,此時(shí)葉輪與前護(hù)板間隙在0.5-1毫米,對(duì)于橡膠內(nèi)襯泵通過擰調(diào)整螺栓上的螺母,使軸承組件先向前移動(dòng),使葉輪與前護(hù)套接觸,在使軸承組件向后移動(dòng),使葉輪與后護(hù)套接觸,測出軸承組件總水環(huán)真空泵的移動(dòng)距離,取此距離一般作為葉輪與前后護(hù)套的間隙,再用調(diào)整螺栓調(diào)節(jié)軸承組件的位置,保證葉輪與前后護(hù)套的正確間隙值。調(diào)整后,在再次啟動(dòng)前,須重新檢查葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)是否正常,軸承組建壓緊螺栓與調(diào)整螺栓是否擰緊,然后再啟動(dòng)水環(huán)真空泵。
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加強(qiáng)管路及各連接處的安裝,是對(duì)水環(huán)式真空泵的幫助,這是它得以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行的標(biāo)志,也是通過這些細(xì)小的安裝工作,才真正體現(xiàn)出真空泵的使用度,通過運(yùn)行平穩(wěn)的證實(shí),也就說明正確的安裝及良好的密封性,更加為生產(chǎn)過程增添了有利因素。
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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過濾設(shè)備。
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