半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)

廢氣工程：由于半導(dǎo)體工藝對(duì)操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類(lèi)：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

空壓氣體工程：螺桿式空壓機(jī)組主要主要有以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng)、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、安全保護(hù)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及電氣線(xiàn)路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī)、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲(chǔ)氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設(shè)備部件。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

光電車(chē)間凈化工程是指不同級(jí)別

光電車(chē)間凈化工程是指不同級(jí)別電子廠凈化車(chē)間或電子實(shí)驗(yàn)室的半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、食品、模具等工程。 光學(xué)微電子凈化工程 又稱(chēng)清凈室或無(wú)塵室，目前已是精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)制造、液晶制造、線(xiàn)路板制造和、生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，因技術(shù)的發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求越發(fā)迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目。 按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求，凈化級(jí)別從 10-30 萬(wàn)級(jí)。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品制作的質(zhì)量。

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面,故作為

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面，故作為夾層內(nèi)首先考慮的對(duì)象。一般將其安排在夾層的上方，其下安排電氣管線(xiàn)。當(dāng)這種夾層的底板可承受一定重量時(shí)，可以在上面設(shè)置過(guò)濾器及排風(fēng)設(shè)備等。房間技術(shù)夾層。這種方式和只有頂部夾層相比，可以減少夾層的布線(xiàn)與高度，可以省去回風(fēng)管道返回上夾層所需的技術(shù)夾道。在下夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機(jī)動(dòng)力設(shè)備配電等，某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。