PLD450型脈沖激光鍍膜介紹

沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應商，我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

主要用途：　　

用于制備超導薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備?！　?

系統(tǒng)組成:　　

主要由濺射真空室、旋轉靶臺、基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。　　

脈沖激光沉積設備介紹

以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容，沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業(yè)生產脈沖激光沉積，歡迎新老客戶蒞臨。

是比較理想的薄膜與涂層合成設備?？芍苽涞谋∧ぐǖ?、氧化物、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關系統(tǒng)配件，例如基片加熱裝置、原位監(jiān)測工具。PLD還有一個很大的優(yōu)點，即能夠通入較高的氧分壓(1~50mTorr)，特別適于氧化物的生長。此外，BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層，例如氧化物涂層、導電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。

脈沖激光沉積系統(tǒng)的特點有哪些？

?  超高真空不銹鋼腔體

?  可集成熱蒸發(fā)源或濺射源

?  可旋轉的耐氧化基片加熱臺

?  流量計或針閥準確控制氣體流量

?  標準真空計?  干泵與分子泵

?  可選配不銹鋼快速進樣室

?  可選配基片-靶材距離自動控制系統(tǒng)

?  是金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬納米薄膜、多層膜、超晶格的較佳設備

以上就是為大家介紹的全部內容，希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多脈沖激光沉積的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。

脈沖激光沉積介紹

脈沖激光沉積系統(tǒng)具有獨特的優(yōu)越性。它可以把激光燒蝕技術和我們所擁有的其他沉積技術（如RF源）集成于一臺設備上?？梢陨L各種可能的材料。

● 配有6個旋轉靶臺，實現(xiàn)多層薄膜結構生長。

● 可與準分子激光和Yag激光相連。

● 在線監(jiān)控儀器做為可選件，為客戶提供高質量的工藝信息反饋。

● 裝載室不但可以裝取樣品，還可以與其他生長設備或分析設備相連。

應用

● 多元素復合氧化物

● 高溫超導材料

● 磁性材料、金屬材料

● 低蒸汽壓材料

● MEMS

期望大家在選購脈沖激光沉積時多一份細心，少一份浮躁，不要錯過細節(jié)疑問。想要了解更多脈沖激光沉積的相關資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?！