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發(fā)布時(shí)間：2021-07-23 17:39

LCD市場(chǎng)助力

全球LCD面板總出貨面積增長(zhǎng)，LCD光刻膠需求增加。據(jù)WitsView數(shù)據(jù)，雖然近三年國(guó)際LCD廠商面板出貨量有所下降，但是由于大屏顯示的市場(chǎng)擴(kuò)增，LCD整體出貨面積變大，2016年出貨總面積達(dá)到1.7億平方米，同比增長(zhǎng)4.6%。隨著LCD出貨面積的持續(xù)增長(zhǎng)，中國(guó)產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)預(yù)測(cè)，未來幾年全球LCD光刻膠的需求量增長(zhǎng)速度為4%~6%。4,曝光前烘好的存底放在光刻膠襯底放在光刻機(jī)上，經(jīng)與光刻版對(duì)準(zhǔn)后，進(jìn)行曝光，接受光照的光刻膠發(fā)生化學(xué)變化，形成潛影，光源與光刻膠相匹配，也就是光源波長(zhǎng)在光刻膠的敏感波段。隨著國(guó)內(nèi)廠商占據(jù)LCD市場(chǎng)比重越來越大，國(guó)內(nèi)LCD光刻膠需求也會(huì)持續(xù)增長(zhǎng)。

光刻膠國(guó)內(nèi)研發(fā)現(xiàn)狀

“造成與國(guó)際水平差距的原因很多。過去由于我國(guó)在開始規(guī)劃發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)上，布局不合理、不完整，特別是生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)的投資，而忽視了重要的基礎(chǔ)材料、裝備與應(yīng)用研究。光刻膠中的感光劑會(huì)發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)，從而使正光刻膠被照射區(qū)域（感光區(qū)域）、負(fù)光刻膠未被照射的區(qū)域（非感光區(qū)）化學(xué)成分發(fā)生變化。目前，整個(gè)產(chǎn)業(yè)是中間加工環(huán)節(jié)強(qiáng)，前后兩端弱，核心技術(shù)至今被TOK、JSR、住友化學(xué)、信越化學(xué)等日本企業(yè)所壟斷。

光刻膠的主要技術(shù)指標(biāo)有解析度、顯影時(shí)間、異物數(shù)量、附著力、阻抗等。每一項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)都很重要，必須全部指標(biāo)達(dá)到才能使用。因此，國(guó)外企業(yè)在配方、生產(chǎn)工藝技術(shù)等方面，對(duì)中國(guó)長(zhǎng)期保密。中國(guó)的研發(fā)技術(shù)有待進(jìn)一步發(fā)展

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5,顯影液

在已經(jīng)曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液，或?qū)⑵浣菰陲@影液中，正膠是曝光區(qū)、而負(fù)膠是非曝光區(qū)的膠膜溶入顯影液，膠膜中的潛影顯現(xiàn)出來，形成三維圖像。

顯影完成后通常進(jìn)行工藝線的顯影檢驗(yàn)，通常是在顯微鏡下觀察顯影效果，顯影是否徹底、光刻膠圖形是否完好。

影響顯影的效果主要因素：

1，曝光時(shí)間，2前烘溫度和時(shí)間，3光刻膠膜厚，4顯影液濃度溫度，5顯影液的攪動(dòng)情況。