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精密電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。近幾年來(lái),由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目。
凈化車間施工事項(xiàng):
施工要點(diǎn):潔凈圍護(hù)結(jié)構(gòu)的安裝是在技術(shù)夾層內(nèi)的各種主管安裝完畢,然后對(duì)室內(nèi)地墻、空間進(jìn)行一次徹底清掃,達(dá)到無(wú)積塵后進(jìn)行施工,并在施工過(guò)程中零部件和場(chǎng)地做到專人清掃。通過(guò)二次設(shè)計(jì),可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)計(jì)中存在的問(wèn)題,提出合理化建議,必要時(shí),設(shè)置部分工藝設(shè)備就位的預(yù)留通道,調(diào)整施工進(jìn)度計(jì)劃,按規(guī)定工期交給廠家美觀、合格的廠房。
凈化車間的平面規(guī)劃
凈化車間通常包含凈化區(qū)、準(zhǔn)凈化區(qū)和輔佐區(qū)三有些。凈化車間的平面安置能夠有以下幾種方法:外廊環(huán)繞式:外廊能夠有窗和無(wú)窗,兼作觀賞和放置一些設(shè)備用,有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗有必要是雙層密封窗。內(nèi)廊式:凈化車間設(shè)在外圍,而走廊設(shè)在內(nèi)部,這種走廊的凈化度等級(jí)通常都較高,乃至和凈化車間同級(jí)。兩頭式:凈化區(qū)設(shè)在一邊,另一邊設(shè)準(zhǔn)凈化和輔佐用房。中心式:為了節(jié)約用地、縮短管線,能夠凈化區(qū)為中心,上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái),這種方法避開(kāi)室外氣候?qū)艋瘏^(qū)的影響,削減了冷熱能耗,利于節(jié)能。