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發(fā)布時(shí)間:2020-08-10 06:32  






因此,潔凈室下游相關(guān)行業(yè)企業(yè)越來(lái)越注重潔凈室的節(jié)能問(wèn)題。這就懇求潔凈室工程行業(yè)企業(yè),從客戶(hù)需求動(dòng)身,從設(shè)計(jì)理念、建造施工、設(shè)備配備及運(yùn)轉(zhuǎn)等各個(gè)方面中止節(jié)能設(shè)計(jì),只需采取多方位的節(jié)能技術(shù),整個(gè)潔凈室行業(yè)才干持續(xù)、良性展開(kāi)。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子剩余對(duì)下一工序常常可能就是污染物。針對(duì)一些煙和塵濃度值很高時(shí),則要應(yīng)用除塵器設(shè)備對(duì)排氣管開(kāi)展過(guò)慮,符合要求后排進(jìn)空氣。因此,IC消費(fèi)過(guò)程中的某些加工工序及工序問(wèn)的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴(yán)重影響廢品率的重要問(wèn)題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈室設(shè)計(jì)與施工樹(shù)立的主流趨向。目前,國(guó)內(nèi)的潔凈室工程行業(yè)企業(yè)中曾經(jīng)開(kāi)端從事此方向的研討。





凈化工程設(shè)計(jì)不合理

   主要存在于凈化級(jí)別要求不高的工程。某些施工單位以較低報(bào)價(jià)拿下工程。但在后期施工中偷工減料,導(dǎo)致潔凈度不合格。另一個(gè)原因是施工后,客戶(hù)又增加了新的要求和凈化面積,這種先天設(shè)計(jì)缺陷難以改進(jìn)的,所以要在工程設(shè)計(jì)階段提前避免。

回風(fēng)管道設(shè)計(jì)調(diào)試不好

   設(shè)計(jì)的原因是因空間所限,沒(méi)有采用“頂送側(cè)回”,或者是設(shè)計(jì)的回風(fēng)口數(shù)量不夠。另外就是回風(fēng)口的調(diào)試,調(diào)試不好,回風(fēng)口阻力過(guò)大,回風(fēng)量會(huì)少于送風(fēng)量,也容易造成潔凈度不合格。另外,回風(fēng)口離地面的高度,也會(huì)對(duì)潔凈度有重大影響。






以對(duì)防微振及潔凈生產(chǎn)(Produce)環(huán)境有嚴(yán)格要求的慣導(dǎo)實(shí)驗(yàn)(experiment)室為例,貫導(dǎo)實(shí)驗(yàn)(experiment)室的場(chǎng)地應(yīng)避開(kāi)如沿海地區(qū)、地振活動(dòng)頻繁地區(qū)、斷層地帶、雷雨及龍卷鳳區(qū)、飛機(jī)飛行區(qū)、公路干線、鐵路沿線、大型河流及湖泊區(qū)、城市工業(yè)區(qū)及人口密集區(qū)、常年冰凍區(qū)、礦區(qū)、森林區(qū)。可以根據(jù)這些原則,在較大的地域范圍初選,再在初選分析對(duì)比的基礎(chǔ)上進(jìn)行精選,直至終確定。對(duì)于集成電路工廠的建設(shè),其微振動(dòng)測(cè)試尤為重要。在藥業(yè)或電子潔凈廠房?jī)?nèi)是不是強(qiáng)制性規(guī)定做噴淋(無(wú)論是濕試或干試),假如不做,有木有標(biāo)準(zhǔn)上可以說(shuō)的過(guò)去,做不做噴淋,只需要看建規(guī)第八章第五節(jié)。根據(jù)集成電路工業(yè)潔凈車(chē)間的特點(diǎn),其振動(dòng)測(cè)試根據(jù)工廠建設(shè)的建設(shè)階段,一般分四次進(jìn)行。






 車(chē)間內(nèi)除精密(precise)設(shè)備外,其他空調(diào)系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)等設(shè)備和工藝附屬設(shè)備都已聯(lián)機(jī)調(diào)試或進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),對(duì)精密設(shè)備安裝位置的環(huán)境振動(dòng)測(cè)試。調(diào)查了解該位置的環(huán)境振動(dòng)是否滿(mǎn)足精密設(shè)備的振動(dòng)安裝條件要求,為精密設(shè)備是否進(jìn)一步采取隔振措施(指針對(duì)問(wèn)題的解決辦法)提供依據(jù)。精密設(shè)備安裝完畢,進(jìn)行試生產(chǎn)時(shí),終對(duì)整個(gè)生產(chǎn)線驗(yàn)證??照{(diào)箱配套風(fēng)機(jī)采用變頻風(fēng)機(jī),這不僅節(jié)能,還可靈活調(diào)節(jié)風(fēng)量風(fēng)壓。用以保證產(chǎn)品的可靠性。環(huán)境振動(dòng)的物理量,應(yīng)根據(jù)精密設(shè)備對(duì)物理量的要求相應(yīng)確定,不外乎是振動(dòng)加速度、振動(dòng)速度及振動(dòng)位移,一般情況下,對(duì)采集得到的數(shù)據(jù)(data)需進(jìn)行時(shí)域及頻域分析。






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