曝光及顯影設(shè)備還包括主體曝光機(jī)10、基板輸送機(jī)構(gòu)50及傳送裝置40。主體曝光機(jī)10用于先對基板S的主體進(jìn)行曝光。傳送裝置40用于將來自該主體曝光機(jī)10的基板S傳送至基板輸送機(jī)構(gòu)50,傳送裝置40例如為機(jī)械手臂?；遢斔蜋C(jī)構(gòu)50用于將基板S輸送至顯影裝置30，基板輸送機(jī)構(gòu)50例如為輸送輥。由于該基板的長邊邊緣容易存在殘留光阻，因此，本公開通過設(shè)置對應(yīng)于基板的長邊邊緣的邊緣曝光裝置20，即可去除絕大部分的殘留光阻。


基板S沿圖中X軸方向移動，由CXD影像處理器22擷取視野內(nèi)影像，CCD影像處理器22根據(jù)該影像計(jì)算偏移量，即，基板S邊緣Rl與CCD影像處理器22的邊緣R2之間的偏移量Λ y，并將該偏移量的信息提供給驅(qū)動裝置23，驅(qū)動裝置23根據(jù)接收到的偏移量的信息提供相應(yīng)的輸出量，帶動與驅(qū)動裝置23的輸出端連接的邊緣曝光機(jī)21沿Y軸方向移動，與基板S邊緣Rl對齊，從而進(jìn)行準(zhǔn)確的邊緣曝邊。


精密蝕刻有哪些美觀包裝精密蝕刻原材料除油處理--水洗--貼干膜（或滾涂）--曝光--顯影--圖文轉(zhuǎn)移效果自檢--干燥--修版--修版效果自檢--蝕刻--退膜--品質(zhì)檢驗(yàn)--包裝。1、耐酸、耐堿、耐腐蝕性能良好。2、表面光潔度高，不需要表面處理，維護(hù)方便簡單。3、剛性強(qiáng)度高、耐磨性強(qiáng)，經(jīng)久耐用。4、耐高溫氧化，好的不銹鋼原材料可以耐800度的高溫，不變形。5、易于加工，可以蝕刻、沖壓和焊接；也可以表面電鍍、噴油、上色等后續(xù)美觀加工。


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