注意事項：

1.真空箱外殼必須有效接地，以保證使用安全。

2.真空箱應(yīng)在相對濕度≤85%RH，周圍無腐蝕性氣體、無強烈震動源及強電磁場存在的環(huán)境中使用。

3.真空箱工作室無防爆、防腐蝕等處理，不得放易然、易曝、易產(chǎn)生腐蝕性氣體的物品進行干燥。

4.真空泵不能長時期工作，因此當(dāng)真空度達到干燥物品要求時，應(yīng)先關(guān)閉真空閥，再關(guān)閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命。

5.干燥的物品如潮濕，則在真空箱與真空泵之間要加入過濾器，防止潮濕氣體進入真空泵，造成真空泵故障。

6.干燥的物品如干燥后改變?yōu)橹亓枯p，體積小（為小顆粒狀），應(yīng)在工作室內(nèi)抽真空口加隔阻網(wǎng)，以防干燥物吸入而損壞真空泵（或電磁閥）。

首先購買的烘箱要是防爆烘箱。（有防爆窗口和防爆電器配置）如果買的不是防爆烘箱就必須在擺放位置上考慮到盡量通風(fēng)，門的拉手鉸鏈經(jīng)常檢查更新，排氣閥門盡量全部打開，不要節(jié)省這點能源了，不然就重新考慮買個防爆烘箱，在阿里電氣市場就有的。

　　2.定時對烘箱的防爆門進行檢查和看擺放位置有足夠的彈出距離，密封條需要定時更換，在腐蝕性比較大的地方，烘箱底部應(yīng)該進行離地擺放。

熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。特別是當(dāng)工作在200℃以上時，開啟箱門有可能使玻璃門驟冷而破l裂。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。讀者朋友們?nèi)绻羌彝ナ褂?，那么只需要一兩百元就能夠買到較好的恒溫烤箱。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上。