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什么是派瑞林?
它是一種透明無(wú)色的聚酯保護(hù)材料。 適用于室溫下的真空鍍膜,真空鍍膜壓力在10-5托以下,而派瑞林鍍膜工藝在0.1托左右。 涂層的厚度可控制在1-100微米之間,該涂層是美國(guó)在60年代初開(kāi)發(fā)的專利,應(yīng)用于美國(guó)印刷電路板、航空航天和水下發(fā)射裝置的微電子元件領(lǐng)域,1972年被納入美國(guó)標(biāo)準(zhǔn):MIL-I-46058C
微納米加工技術(shù):化學(xué)氣相沉積工藝(CVD)
將粉末狀的納米原料放入真空納米涂層設(shè)備的蒸發(fā)室,通過(guò)150℃-180℃的溫度蒸發(fā)為氣態(tài)分子,在真空(1.0*10-2torr)作用下氣態(tài)的10nm以下納米分子進(jìn)入到裂解室,在裂解室680℃-700℃的高溫裂解為具有反應(yīng)活性的單體,活性單體與單體之間重新聚合,形成一層致密無(wú)的納米膜層。
Parylene N是一種很好的介電材料,具有特別很是低的介質(zhì)損耗、高絕緣強(qiáng)度以及不隨頻率轉(zhuǎn)變的介電常數(shù)。它是所有Paryleng中穿透能力的一種。
Parylene C是系列中第二個(gè)具有商業(yè)價(jià)值的成員。它由雷同的單體系方式成,只是將其中一個(gè)芳香烴氫原子用一個(gè)氯原子所庖代了。Paryleng C將的電性能,物理性能結(jié)合在一路,并且對(duì)于潮濕和其它腐蝕性氣體具有低滲透性。除了可以提供真正的無(wú)覆形隔離外,Paryleng C是涂敷緊張電路板的材料。
Parylene D是系列中的第三個(gè)成員,它由雷同的單體系方式成,只是將其中兩個(gè)芳香烴氫原子被氯原子庖代。Parylene D的性子與Parylene C相似,但是具有更高的耐熱能力。
Parylene HT(SCS)該材料具有更低的介電常數(shù)(即透波性能好)、好的穩(wěn)固性和防水、防霉、防鹽霧性能.短期耐溫可達(dá)450攝氏度,長(zhǎng)期耐溫可達(dá)350攝氏度,并具有強(qiáng)的抗紫外線能力.更適合作為高頻微波器件的防護(hù)材料.
ParyleneC和ParyleneN的薄膜擊穿電壓
Parylene的特征之一是它們可以形成極薄的膜層。ParyleneN薄膜和C薄膜的直流擊穿電壓被確定與高聚物厚度有肯定的關(guān)系。
Parylene是一種具有性能的敷形涂層材料,問(wèn)世后首先在電子領(lǐng)域得到了應(yīng)用。1972年列入美軍標(biāo)46058C許可作為印刷電路板的敷形涂層材料,涂層厚度為0.0005-0.002英寸。