電子氣體污染控制要求日趨嚴(yán)格隨著電子消費(fèi)品的升級(jí)換代，產(chǎn)品制造尺寸越來(lái)越大，產(chǎn)品良率和缺陷控制越來(lái)越嚴(yán)格，整個(gè)電子工業(yè)界對(duì)電子氣體氣源純度，以及杜絕輸送系統(tǒng)二次污染的要求越來(lái)越苛刻?；旧瞎I(yè)界對(duì)電子氣體氣相不純物以及顆粒度污染提出的技術(shù)指標(biāo)，直接與分析儀器技術(shù)進(jìn)步帶來(lái)的較低檢測(cè)極限（直接關(guān)聯(lián)。如傳統(tǒng)的激光顆粒測(cè)試儀可測(cè)到微米，而核凝結(jié)技術(shù)可達(dá)到微米。目前超大規(guī)模集成電路制造線寬已經(jīng)發(fā)展到納米，對(duì)于大宗氣體的純度都要求在級(jí)別，顆粒度控制直指分析儀器的下限。實(shí)驗(yàn)室超高亮度技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到以上，對(duì)于氫氣和氨氣的純度控制要求也都小于氨氣則釆用多級(jí)精餾生產(chǎn)技術(shù)指標(biāo)到達(dá)的白氨的氫氣需要采用先進(jìn)的鈀膜純化器提純至。

真空鍍膜時(shí)為什么要用到高純氣體

在真空離子鍍膜中，所選用不同氣體所生產(chǎn)出來(lái)的，液態(tài)氣體色澤也會(huì)不一樣，氬氣一般用作創(chuàng)造鍍膜的環(huán)境鍍鈦和鉻時(shí)，工業(yè)氣體充入氮?dú)饪缮a(chǎn)出銀色和黃色的產(chǎn)品而想要生產(chǎn)出黑色或灰色的產(chǎn)品，則需要加入氣體加入氧氣則生產(chǎn)藍(lán)色的產(chǎn)品。除了氣體外所生產(chǎn)出的產(chǎn)品顏色還受壓力、溫度、時(shí)間等條件影響。

真空電鍍是利用的什麼原理?

在高真空度的條件下，高純度的鍍層金屬（如鋁）在高溫下蒸發(fā)后會(huì)自由地飛散開并沉降在工件表面，形成鍍層。氬氣為保護(hù)性氣體，防止氧化反應(yīng)影響鍍層質(zhì)量。氬氣在電鍍過程中有何用?

氬氣不參與反應(yīng)，只是增加氣壓，改善鍍膜時(shí)靶的放電條件，氬氣不是用于鍍膜，主要用于創(chuàng)造鍍膜的環(huán)境。氮?dú)夂蜌鍤舛际嵌栊詺怏w,沖進(jìn)去以后,一 可以排除氧氣,防止氧化,二更具氮?dú)夂蜌鍤庠跀U(kuò)散泵內(nèi)的含量比例不同,可以鍍膜出不同的顏色.主要是為了改變鍍膜出來(lái)產(chǎn)品的色彩.

真空鍍膜行業(yè)中，氬氣的流量大小具體如何控制?

如果是說(shuō)鍍膜時(shí)為了調(diào)節(jié)壓力使用的氣體 個(gè)人認(rèn)為如下：氬氣如果只是調(diào)節(jié)壓力，一次壓可以不計(jì)，但是二次壓要小于0.5個(gè)大氣壓。氮?dú)庖彩?，主要是因?yàn)槿绻罅耍瑫?huì)導(dǎo)致真空倉(cāng)內(nèi)的壓力變化太劇烈，導(dǎo)致誤差。如果是使用離子源，那么氬氣入氣量不宜過大，大了導(dǎo)致離子量過大，燒壞部件。壓力和上邊沒什么差別。

任何固體材料在大氣環(huán)境下都會(huì)溶解和吸附一些氣體，當(dāng)材料置于真空狀態(tài)時(shí)就會(huì)因?yàn)槊摳?、解析而出氣。出氣的速率與材料中的氣體含量成正比。不同的材料解析的氣體成分及解析的溫度及時(shí)間是不同的。

各種泵對(duì)不同成分的氣體抽氣速率也是不一樣的。抽真空時(shí),首先抽走的是容器中的大氣(這部份氣體很快被抽走,10-1Pa時(shí)爐內(nèi)氣體基本抽盡),然后是材料表面解吸的氣體、材料內(nèi)部向表面擴(kuò)散出來(lái)的氣體,以及通過器壁滲透到真空中的氣體.因此在貨品進(jìn)入爐內(nèi)之后，都要進(jìn)行保溫除氣，因?yàn)樨浧吩谶M(jìn)爐前會(huì)吸附一些雜質(zhì)氣體，我們要通過適當(dāng)?shù)募訜?，讓這些氣體解析脫附貨品的表面。以不銹鋼為例，除了在它表面吸附的氣體之外，在不斷的加熱保溫過程中鋼內(nèi)部還會(huì)析出一些氣體，這些氣體的存在往往對(duì)薄膜的純度和顏色有較大的影響，對(duì)膜層附著力影響也很大。

因此真空鍍膜機(jī)鍍膜時(shí)，膜層的好壞，氣體啟著關(guān)鍵性的作用，是鍍膜環(huán)節(jié)不可或缺的一步。

氦氣和氮?dú)獾膮^(qū)別

大家都知道制作氦氣的方法有哪些，想要獲取氦氣首先得找到蘊(yùn)含氦氣的然氣，再通過各種方法獲得粗氦，再按照需求精煉成不同純度的氦氣，所花的代價(jià)非常大，氦氣的價(jià)格也就水漲船高。

反觀氮?dú)猓恍枰獙⒁簯B(tài)空氣分餾就可以獲得純度不高的氮?dú)?，一般氮?dú)舛际亲鳛楣I(yè)制氧時(shí)的副產(chǎn)品出現(xiàn)。而且氦氣和氮?dú)庀啾?，氮?dú)膺€有一個(gè)優(yōu)勢(shì)就是可以在實(shí)驗(yàn)室獲取。實(shí)驗(yàn)室中可以通過氯化銨混合亞肖酸鈉加熱、純空氣通過灼熱銅粉或銅絲網(wǎng)去氧、氨氣通過灼熱氧化銅這些方法人工獲取氦氣，但是可沒聽說(shuō)過氦氣有實(shí)驗(yàn)室制取方法。