金剛線切割技術(shù)

金剛線切割技術(shù)也被稱為固結(jié)磨料切割技術(shù)。它是利用電鍍或樹脂粘結(jié)的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面，將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產(chǎn)生磨削，達(dá)到切割的效果。

金剛線切割具有切割速度快，切割精度高，材料損耗低等特點(diǎn)。切割線的技術(shù)突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍，因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。

?線切割設(shè)備

線切割設(shè)備的速度調(diào)整：

切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān)，與切割面的大小也有關(guān)系，同種材料切割時(shí)，被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對(duì)較小一些。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面，速度太快切割后的樣品表面會(huì)有明顯的切割線痕跡，因此當(dāng)要求切斷試樣同時(shí)還要有很好的面型（平面度、平行度、表面粗糙度）時(shí)一般選用較慢的切割速度。樹脂金剛石線的特點(diǎn)：高強(qiáng)度樹脂及金剛石相結(jié)合帶來的強(qiáng)的切割能力，線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質(zhì)量及切割表現(xiàn)，高耐扭曲能力的母線帶來了非常低的斷線率。

線切割速度

線切割過程中的速度調(diào)整：

若設(shè)置的線切割速度與實(shí)際切割速度不匹配容易發(fā)生夾線，進(jìn)而使金剛石線斷開，切割速度的設(shè)定沒有具體規(guī)定，一般根據(jù)經(jīng)驗(yàn)選擇。樹脂結(jié)合劑鋸線的耐磨性和耐熱性不如電鍍金剛石鋸線好，且效率較低，因此未來該技術(shù)也將被逐步淘汰。切割過程中當(dāng)發(fā)現(xiàn)所選用的速度過大時(shí)可進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整，速度的大小可根據(jù)金剛石線出現(xiàn)弧度的速度進(jìn)行調(diào)整，若切割過程中金剛石線幾乎一直處于平直狀態(tài)，說明所選用的切割速度還可以適當(dāng)增加，直到調(diào)整到金剛石線的弧度狀態(tài)一直保持不變的，說明所選用的切割速度適于材料的切割