氦質(zhì)譜撿漏儀檢漏方法

氦質(zhì)譜檢漏儀，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。在質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)

1，氣路設(shè)計(jì)，提高了對(duì)氦的抽速，縮短了清氦本底時(shí)間，有效防止氦污染。2，檢漏口配備：定制精密過濾裝置，可有效避免雜物顆粒或銅粉進(jìn)入儀器內(nèi)部。3，多模式功能輸入、輸出，輕松連接各種自動(dòng)化設(shè)備。4，機(jī)械與電路有效分開，避免了溫度、電磁場等彼此干擾，使檢漏儀運(yùn)行更加穩(wěn)定、可靠。5，可檢漏率低，靈敏度高，檢測量程達(dá)到11級(jí)。

氦質(zhì)譜檢漏儀簡介

專門設(shè)計(jì)的以氦氣作示蹤氣體進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀稱為氦質(zhì)譜檢漏儀，運(yùn)用質(zhì)譜原理制成的儀器稱為質(zhì)譜計(jì)或質(zhì)譜儀。質(zhì)譜儀通過其核心部件質(zhì)譜室，使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場中運(yùn)動(dòng)后，不同質(zhì)荷比的離子在場中彼此分開，而相同質(zhì)荷比的離子在場中匯聚在一起，如果在適當(dāng)位置安置接收所有這些離子，就會(huì)得到按照質(zhì)荷比大小依次分開排列的質(zhì)譜圖，這就是質(zhì)譜。用于檢漏的質(zhì)譜儀稱為質(zhì)譜檢漏儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場及一個(gè)出口電極組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的出口電極一般采用三柵結(jié)構(gòu)。在離子收集極前面有三個(gè)柵極G1、G2、G3。G1和G3接地，中間柵極G2與離化室相連。G1柵的狹縫決定了氦離子的運(yùn)動(dòng)半徑，而使除氦以外的其他離子打不到收集極上去。中間柵極G2的正電位對(duì)于正離子而言相當(dāng)于一個(gè)拒斥電場，只有具有一定能量的氦離子才能通過G2的狹縫，而由于碰撞失去能量的其他雜散離子即使進(jìn)入G1狹縫，也不能通過G2狹縫到達(dá)收集極，使收集極的氦離子流不受這些雜散離子的干擾。柵極G3是抑制離子在收集極上打出的二次電子不跑向G2，使它仍返回收集極，以防離子流的不穩(wěn)定。