真空機(jī)組工作原理

真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級(jí)泵，因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。

擴(kuò)散泵超高真空機(jī)組

以擴(kuò)散泵為主泵的超高真空機(jī)組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來(lái)自擴(kuò)散泵前級(jí)的氣體反擴(kuò)散和阻擋機(jī)械泵油的反擴(kuò)散對(duì)極限真空度的影響，可在擴(kuò)散泵前級(jí)申聯(lián)一臺(tái)抽速小的擴(kuò)散泵，以降低壓縮比，減小反擴(kuò)散。如在擴(kuò)散泵進(jìn)氣口上邊增設(shè)鈦升華阱，可進(jìn)一步降低來(lái)自擴(kuò)散泵的氮?dú)夥謮毫?，能獲得10-11Pa的超高真空。

低真空抽氣機(jī)組

低真空抽氣機(jī)組的主要特點(diǎn)是工作壓力高、排氣量大,但抽速比高真空抽氣機(jī)組低,多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力高的真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空干燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。低真空抽氣機(jī)組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封式機(jī)械泵、干式機(jī)械泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等直排大氣真空泵,使用低真空抽氣機(jī)組,還需要根據(jù)被抽氣的清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干燥阱等部件。

真空機(jī)組的工作原理

真空機(jī)組是以泵為主泵，以旋片泵為前級(jí)泵串聯(lián)而成的。旋片真空機(jī)組選用的旋片泵作為前級(jí)泵，因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵。 真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應(yīng)用技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。