氦質譜檢漏儀的結構

質譜室，形象的說，質譜室是氦質譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內，共用其磁場。為了有利于微小的粒子流放大，將一級放大用高阻及靜電計管也放在質譜室之內。質譜室殼由非磁性材料制成，內部抽空，而外部設置成磁鐵形成磁分析器的磁場。氦質譜檢漏儀是由質譜室、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)組成，有時還需要配置輔助的真空系統(tǒng)。

檢漏的重要性

氦質譜檢漏儀是一種精度很高的不停機查漏儀器，具有靈敏度高、抗干擾、不污染環(huán)境(以前的鹵素檢漏污染環(huán)境)、不危及安全生產(以前的燭光法不適用于氫冷發(fā)電機)等優(yōu)點。泄漏和密封相對應，很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱中的雪種容器等等)，要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

氦質譜檢漏儀的原理

正常運行時，空氣經過漏點被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大氣。試驗時在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質譜檢漏儀，在真空系統(tǒng)的漏點處噴氦氣，由于氦質譜檢漏儀工作時能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體，有一部分被吸入到氦質譜檢漏儀，由于氦分子質量與其他分子質量不一樣，通過磁場產生的偏轉磁力不一樣，氦質譜檢漏儀上設計有一狹縫，剛好使氦分子通過而其他分子無法通過，這樣，通過狹縫后的氦分子打在收集板上，通過靶板計數，即可知道通過的分子數泄漏量的相對大小。

真空法氦質譜檢漏的優(yōu)缺點

真空法的檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》，主要應用于真空密封性能要求，但不帶壓工作的產品，如空間活動部件、液氫槽車、環(huán)境模擬設備等。

真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以準確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。

真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測，不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態(tài)。