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激光器
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激光器是用來(lái)產(chǎn)生激光的部件,是激光設(shè)備中較核心的零部件。激光器的價(jià)值在成套激光加工裝備總價(jià)值的20%-40%,甚至更高。
典型的激光器,由激光工作物質(zhì)(發(fā)出能量)、泵浦源(提升能量)、光學(xué)諧振腔(傳播能量)等部分組成。泵浦源為激光器的光源,諧振腔為泵浦光源與增益介質(zhì)之間的回路,增益介質(zhì)指可將光放大的工作物質(zhì)。
激光器的穩(wěn)定
應(yīng)用于激光器中來(lái)提高激光器輸出光功率、頻率或其它量的穩(wěn)定性激光器存在各種激光器噪聲,在實(shí)際應(yīng)用中很不利,因此需要采用一些技術(shù)抑制噪聲并且穩(wěn)定激光器的參數(shù)。
主動(dòng)穩(wěn)定機(jī)制包含一些電子反饋系統(tǒng)(或者正反饋系統(tǒng)),參數(shù)的漲落轉(zhuǎn)化為電子信號(hào),然后在以某種形式作用于激光器。
被動(dòng)穩(wěn)定機(jī)制不需要電子學(xué)器件,只是采用純光學(xué)效應(yīng)。例如:可以采用穩(wěn)定的參考腔的反饋光來(lái)穩(wěn)定激光器的頻率。(即可以認(rèn)為是采用了另一個(gè)激光諧振腔,組成一個(gè)復(fù)合腔)??梢酝ㄟ^(guò)克爾介質(zhì)的交叉相位調(diào)制效應(yīng)使兩個(gè)鎖模激光器同步,腔內(nèi)的兩束脈沖在介質(zhì)中相遇。固體激光器固體激光器介質(zhì)是固體的激光器,此種工作物質(zhì)通過(guò)燈丶半導(dǎo)體激光器陣列丶其他激光器光照泵浦得到激發(fā)。也可以采用注入鎖定來(lái)穩(wěn)定激光器的頻率,也就是將另一個(gè)激光器中產(chǎn)生的具有非常穩(wěn)定頻率的光束注入到諧振腔中。
納秒激光器
二極管泵浦固態(tài)(DPSS)激光器是在20世紀(jì)90年代末被首先引入工業(yè)環(huán)境的。當(dāng)時(shí),首臺(tái)此類激光器僅具有幾瓦的低輸出功率,其波長(zhǎng)為355nm。在二極管泵浦之前,使用燈泵浦可獲得激光,但是這類激光器是非常不可靠的。半導(dǎo)體激光器是用半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)的激光器,激勵(lì)方式有電注入、電子束激勵(lì)和光泵浦三種形式。當(dāng)時(shí),幾瓦的納秒紫外光的成本超過(guò)10萬(wàn)美元。
隨后,納秒激光器的市場(chǎng)變得越來(lái)越成熟,而這些激光器現(xiàn)在也可以從許多不同的制造商(提供紅外、可見(jiàn)和紫外波長(zhǎng))處購(gòu)買到,10W紫外輸出功率的納秒激光器的價(jià)格低于5萬(wàn)美元。在大多數(shù)情況下,這些激光器的脈沖持續(xù)時(shí)間介于幾十到幾百納秒的范圍內(nèi)。