實驗室集中供氣的優(yōu)點

1、保持氣體純度

2、不間斷氣體供應：系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換，保證氣體連續(xù)供應

3、低壓警示：當氣壓低于警報限時，報警裝置可自動啟動報警

4、氣體壓力穩(wěn)定：系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力

5、率：通過供氣控制系統(tǒng)，可充分使用氣瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本

6、操作簡便：所有氣瓶存放在同一位置，減少搬運安裝的操作，節(jié)約時間和成本費用

7、無氣瓶在實驗室：可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間

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特種氣體的應用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。氣體管路控制系統(tǒng)作用主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點、監(jiān)控及報警系統(tǒng)組成。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

試驗室供氣現(xiàn)狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時，當?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域，然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)。

但是考慮安全和效率因素，不考慮經(jīng)濟性因素，集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當今試驗室設備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應源，氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)，并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

國內(nèi)比較老的試驗室在使用氣體的時候大多是將氣瓶放在用氣點的旁邊，然后在氣瓶出口處安裝一個減壓器，然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上，如果一個試驗室里有多個使用設備時，就會有很多氣瓶，同時有很多雜亂的管路，同時這些氣體不乏有毒氣體、強腐蝕氣體，以及氣瓶出口高壓等因素，使得這種方式在現(xiàn)實使用過程中是充滿危險性的。它們的投資規(guī)模巨大，采用最1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴格的要求。