高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。因此，在溫度變化較大的管道和需要有自由位移的常溫管道上，需要設(shè)置膨脹節(jié)，使管道的伸縮得到補(bǔ)償而消除附加應(yīng)力的影響。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。⑥管道與設(shè)備的連接段宜采用金屬管道，如為非金屬軟管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳膠管。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

氣體管道怎么安裝？

1.氣瓶間 設(shè)計(jì)布局：

a)  氣瓶間由于有特殊氣體（高危險(xiǎn)性、高純、易i燃易i爆），氣體放置應(yīng)按氣體特性分開放置。并配置滅火器及報(bào)警裝置，由易i燃易i爆氣體單獨(dú)放置，并做好接地防靜電措施，為了安全起見建議采用報(bào)警i監(jiān)控系統(tǒng)。

b)  氣瓶連接處設(shè)立一級調(diào)壓裝置面板，其中氣體供氣分為單瓶或雙瓶帶隔膜閥吹掃及欠壓控制裝置，可實(shí)現(xiàn)對面板壓力及管道吹掃排空清洗和控制，面板都為不銹鋼材質(zhì)。

c)  減壓器及相關(guān)管件均需牢固的固定在一級調(diào)壓裝置面板上，面板應(yīng)設(shè)計(jì)的緊湊而合理，以減少系統(tǒng)中的死體積，面板應(yīng)采用全不銹鋼材質(zhì)制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，確保其安全美觀。

d)  氣瓶間內(nèi)存放的氣瓶或者氣瓶柜采用防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶柜需帶聲光報(bào)警、自動排風(fēng)裝置，氣瓶柜及支架為不銹鋼材質(zhì)堅(jiān)固耐用、美觀大方、安全可靠。

e)  氣瓶間內(nèi)的氣體鋼瓶與一級調(diào)壓裝置面板之間采用SS316L高壓金屬軟管或者高壓盤管連接無滲透，高壓軟管（盤管）為柔性軟管，以保證連接的方便性；并自帶防護(hù)鋼纜，預(yù)防極端情況下鋼瓶閥損壞等想象帶來的高壓“抽鞭”事故；

f)  高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與對應(yīng)的氣體鋼瓶角閥的規(guī)格相匹配，以確保連接的可靠性。

g)  面板出氣端需安裝阻火器或者單向閥，阻止氣體回火及回流現(xiàn)象，材質(zhì)均為不銹鋼。

h)  如儀器設(shè)備對氣體純度要求結(jié)凈度高，還需安裝氣體純化器及過濾器，以保證終端使用氣體的純度。

i)  吹掃排空清洗管道應(yīng)分類收集、固定牢固一并排放至室外安全地點(diǎn)。

氣路系統(tǒng)百科知識

　　氣路系統(tǒng)主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點(diǎn)、監(jiān)控及報(bào)警系統(tǒng)組成。對于一些易i燃易i爆氣體，如氫氣、乙i炔等，可能在設(shè)計(jì)和施工過程中稍有差異，必須加入氣體回火防止器等安全控制裝置。

　　概述;

　　在現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室中，為了完成實(shí)驗(yàn)，需要用到多種分析儀器，如氣相色譜儀，原子吸收，氣—質(zhì)聯(lián)用儀，ICP等等，其中這些儀器需要用到高純氣體，傳統(tǒng)的做法是采用獨(dú)立鋼瓶分散供氣的模式，這種供氣模式每臺儀器設(shè)備單獨(dú)配置氣體鋼瓶，分別滿足每臺儀器設(shè)備的使用，但隨著近年來實(shí)驗(yàn)室投資的不斷加大，儀器設(shè)備的迅速增加，用氣量也逐年增加，傳統(tǒng)的供氣模式已經(jīng)難以滿足儀器設(shè)備增加的需求，同時分散供氣模式帶來的實(shí)驗(yàn)室布局混亂，鋼瓶的頻繁更換也對實(shí)驗(yàn)室的管理和維護(hù)造成了困難，為了解決以上兩個方面的問題，就需要一套安全性高且能實(shí)現(xiàn)集中分配供氣的系統(tǒng)完成從氣源向儀器的供氣，這就是實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道系統(tǒng)的功能所在。氣體管道安裝實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)作為一種氣體補(bǔ)給方式，現(xiàn)已經(jīng)被人們越來越廣泛的使用。