無塵室/無塵車間/凈化車間/潔凈室設(shè)計要點

    1、壓力和氣流

為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進入室內(nèi)，要達到這個目的，房間里必須保持正壓，為了獲得所要求的房間壓力，必須補充適當?shù)男迈r空氣。

    2、輔助設(shè)備

必要時還得安置一些輔助設(shè)備：如新風口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等，這些設(shè)備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能。

    3、人和物的控制

人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過人凈系統(tǒng)，更換無塵衣，并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。

    4、給排水和送風裝置及電源

根據(jù)所要運行的車間，提供必須的給排水裝置，送風裝置和電源，這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計，同時不得有勃于空氣凈化系統(tǒng)，

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凈化無塵車間施工的特點

一、潔凈室內(nèi)的污染源：

潔凈室內(nèi)的污染源主要來自四個方面：

1、大氣中含塵、含菌、凈化系統(tǒng)中新風帶入的塵粒和微生物；

2、作業(yè)人員發(fā)塵；

3、建筑圍護結(jié)構(gòu)、設(shè)施的產(chǎn)塵。  

二、凈化參數(shù)（一般要求）

換氣次數(shù)：100000萬級≥15次；10000級≥25次；1000級≥50次。

平均風速：10級、100級（斷面風速）0.3-0.5 m/s；

溫度：冬季＞16 ℃ 夏季＜26℃；波動±2℃。

相對濕度宜45-65%；

噪聲≤65dB(A)；

照度≥200LX

無塵車間的節(jié)能原則

無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風和空調(diào)（HVAC）、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩，很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高的效率的設(shè)計和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當中 。

在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中，電子行業(yè)對潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴性大，潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個潔凈行業(yè)市場的67%。在我國，電子行業(yè)每年花費在潔凈室方面的費用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外，平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，也是潔凈室相關(guān)供應(yīng)商的重要用戶。５ＭＭ，不同的防靜電環(huán)境需求選用不同的規(guī)格，按甲方設(shè)計需求施工。據(jù)調(diào)查，世界上面積大的潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè)，一個單體的潔凈室廠房面積可容納32架飛機。

潔凈技術(shù)對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感，因為它們能引起金屬層之間的短路。