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電子束原理介紹
其實(shí),增速器離人們的生活并不遠(yuǎn)?,F(xiàn)代生活中已經(jīng)普及的電視、計算機(jī)顯示器所用的顯像管就是一臺小小的電子增速器。顯像管有玻璃密封外殼,內(nèi)部抽成真空。由一端的電子槍產(chǎn)生的電子束(強(qiáng)度受影像訊號控制)經(jīng)過聚焦線圈聚焦后在高壓電極的作用下加速向前運(yùn)動。與此同時,電子束在偏轉(zhuǎn)電極的作用下,自上而下作水平方向的掃描。采用晶振膜厚儀如需了解更多電子束產(chǎn)品的相關(guān)信息,歡迎關(guān)注沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司網(wǎng)站或撥打圖片上的熱點(diǎn)電話,我司會為您提供專業(yè)、周到的服務(wù)。這樣,在顯像管另一端的熒光屏上就形成了明暗程度不同的亮點(diǎn)。
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電子束鍍膜設(shè)備介紹
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電子束蒸鍍(Electron Beam Evaporation)是物理氣相沉積的一種。與傳統(tǒng)蒸鍍方式不同,電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準(zhǔn)地實(shí)現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)靶材,使之融化進(jìn)而沉積在基片上。電子束蒸鍍可以鍍出高純度的薄膜。
電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)產(chǎn)品介紹
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產(chǎn)品配置:
★樣片數(shù)量及尺寸: 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架(用戶定制)
★蒸發(fā)材料:金屬;非金屬;化合物等薄膜材料。
★蒸發(fā)腔體:高真空系統(tǒng)。
★蒸發(fā)不均勻性:≤±3%-±5%
★工件架:可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào)
★加熱:常規(guī)加熱
★電子槍:E型,帶XY偏轉(zhuǎn)掃描
★電子槍坩堝:6穴,17cc
★膜厚監(jiān)控功能:石英晶控膜厚在線監(jiān)測與終點(diǎn)控制
★清洗功能:可選配離子源清洗
★器件一次成型復(fù)合實(shí)驗(yàn)系統(tǒng):通過復(fù)合mask系統(tǒng)與樣品對準(zhǔn)系統(tǒng),一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學(xué)特性的功能:可選配光控儀
★操作模式:全自動 半自動控制