在金屬晶粒中可產(chǎn)生更均勻、更微小，且?guī)в懈竺芏鹊奈⑿〔牧辖M織；

由于有附加微碳化物粒子和更細(xì)密的晶格，故導(dǎo)致了更密集的分子結(jié)構(gòu)，使材料內(nèi)部微小的空洞被大大減少；

材料經(jīng)超低溫處理后內(nèi)部熱應(yīng)力和機(jī)械應(yīng)力大為降低，從而有效地減少了造成工具和刀具產(chǎn)生裂紋、崩刃的可能性。此外，由于刀具中的殘余應(yīng)力影響切削刃吸收動(dòng)能的能力，經(jīng)過超低溫處理的刀具不僅具有較高的抗磨性，而且其自身的殘余應(yīng)力的危害也比未經(jīng)處理的刀具大大降低；

在被處理的硬質(zhì)合金中，由于其電子動(dòng)能的減少而使分子結(jié)構(gòu)產(chǎn)生新的組合。

隨著真空熱處理技術(shù)及其相關(guān)設(shè)備的發(fā)展，這幾年逐步發(fā)展出了一批新技術(shù)，這些新技術(shù)反過來也推動(dòng)了真空熱處理在更多領(lǐng)域的應(yīng)用。其中，真空氫氣復(fù)合凈化就是這些新技術(shù)中的佼佼者，它打破了以往使用氫氣爐時(shí)容易受到各種外在環(huán)境制約的影響，并且還極大地提高了使用安全性。

在民用市場(chǎng)領(lǐng)域，針對(duì)該技術(shù)的研究和應(yīng)用推動(dòng)了我國(guó)金剛石制造技術(shù)的進(jìn)步。在領(lǐng)域，該技術(shù)在軟磁合金和電工純鐵的熱處理方面發(fā)揮了重要作用，通過采用此項(xiàng)技術(shù)使得產(chǎn)品磁性能得到了明顯提高，而產(chǎn)品矯頑力卻得到了顯著降低。

水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導(dǎo)別處置(水冷電極)、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應(yīng)該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運(yùn)行并有足夠的使用壽命。采用低電壓大電流：在真空容器內(nèi)，當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時(shí)，真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下，會(huì)產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。