無塵車間定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其特定的規(guī)則和操作程序能夠控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。根據(jù)車間凈化級別的劃分，不同級別的無塵車間對空氣中各粒徑檔容許粒子濃度不一樣。百級無塵車間要求每立方米0.5微米的大容許粒子濃度小于3500個，千級無塵車間要求每立方米0.5微米的大容許粒子濃度小于35000個，萬級無塵車間要求每立方米0.5微米的大容許粒子濃度小于350000個。

在凈化車間改造的過程當(dāng)中，也必須要按照原來的施工方案確定施工的先后順序，這項工作是必須要進行的，對于一些不同的施工項目來說可以同時施工，但是必須要注重二者之間的聯(lián)系，不能夠使施工順序看起來雜亂無章，而是應(yīng)當(dāng)按照合理的順序進行，這樣才能夠保證整個工程能夠有條不紊的完成。無塵車間目前級別高的當(dāng)屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。

B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置；C.造價較低。特點：這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)，具體根據(jù)車間的大小情況而定；這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵車間/廠房。光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機 FFU送風(fēng)口這是簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng))；KLC風(fēng)機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。