多功能真空鍍膜機(jī)是怎么構(gòu)成的？

多功能真空鍍膜機(jī)是磁控濺射、多弧離子、蒸發(fā)鍍膜的混合性設(shè)備，是在多弧離子鍍膜機(jī)的基礎(chǔ)上裝備圓柱靶或平面磁控靶，設(shè)備具有離子鍍的高離化率、高堆積速度的特色，一起也具有磁控濺射低溫、安穩(wěn)的長(zhǎng)處，合適鍍各種復(fù)合膜。

多功能真空鍍膜機(jī)--磁控、中頻、多弧離子鍍膜具體介紹：

①蒸騰與磁控濺射的混合設(shè)備:多功能，合適量產(chǎn)，適應(yīng)性強(qiáng)。

②磁控濺射與多弧離子鍍的混合運(yùn)用:多弧能夠進(jìn)步炮擊清洗質(zhì)量，添加薄膜與基材結(jié)合力。與磁控濺射一起作業(yè)可鍍制復(fù)合膜（高能離子源清洗活化，成膜速度快）。

③多對(duì)中頻磁控濺射靶與柱弧離子鍍的混合運(yùn)用:中頻靶更安穩(wěn)（如Al），離化率高、堆積速率快、成膜均勻。中頻反應(yīng)濺射如鍍制Si02、TiO2，一起鍍多層不一樣原料簿膜。

④射頻、直流、中頻、柱弧的混合運(yùn)用：射頻能夠直接鍍制絕緣保護(hù)膜如SiO2/Ag/SiO2

⑤圓柱弧、中頻、多弧的混合運(yùn)用:柱弧確保高離化率的一起，削減大顆粒堆積的份額，到達(dá)有好的結(jié)合力又有較好表面光潔度的作用。多功能真空鍍膜機(jī)適用中高層次商品如表帶、表殼、眼鏡框、手機(jī)殼、高爾夫球具、衛(wèi)浴潔具、飾品等。

真空鍍膜機(jī)磁控濺射主要工藝流程：

1、基片清洗，主要是用蒸汽清洗，隨后用乙醇浸泡基片后快速烘干，以去除表面油污；

2、抽真空，真空須控制在2×104Pa以上，以保證薄膜的純度；

3、加熱，為了除去基片表面水分，提高膜與基片的結(jié)合力，需要對(duì)基片進(jìn)行加熱，溫度一般選擇在150℃~200℃之間；

4、Ar氣分壓，一般選擇在0.01~1Pa范圍內(nèi)，以滿足輝光放電的氣壓條件；

5、預(yù)濺射，預(yù)濺射是通過(guò)離子轟擊以除去靶材表面氧化膜，以免影響薄膜質(zhì)量；

6、濺射，Ar氣電離后形成的正離子在正交的磁場(chǎng)和電場(chǎng)的作用下，高速轟擊靶材，使濺射出的靶材粒子到達(dá)基片表面沉積成膜；

7、退火，薄膜與基片的熱膨脹系數(shù)有差異，結(jié)合力小，退火時(shí)薄膜與基片原子相互擴(kuò)散可以有效提高粘著力。

真空鍍膜機(jī)磁控濺射鍍膜的特點(diǎn)：薄膜純度高，致密，厚度均勻可控制，工藝重復(fù)性比較好，附著力強(qiáng)。

依據(jù)濺射源的不同，真空鍍膜機(jī)磁控濺射有直流和射頻之分，兩者的主要區(qū)別在于氣體放電方式不同，真空鍍膜機(jī)射頻磁控濺射利用的是射頻放電，陶瓷產(chǎn)品使用的是射頻磁控濺射鍍。

采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層有什么優(yōu)勢(shì)

采用PVD鍍膜技術(shù)鍍出的膜層，具有高硬度、高耐磨性（低摩擦系數(shù)）、很好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點(diǎn)，膜層的壽命更長(zhǎng)；同時(shí)膜層能夠大幅度提高工件的外觀裝飾性能。PVD膜層能直接鍍?cè)诓讳P鋼、硬質(zhì)合金上、鈦合金、陶瓷等表面，對(duì)鋅合金、銅、鐵等壓鑄件應(yīng)先進(jìn)行化學(xué)電鍍鉻，然后才適合鍍PVD。PVD鍍膜技術(shù)是一種能夠真正獲得微米級(jí)鍍層且無(wú)污染的環(huán)保型表面處理方法，它能夠制備各種單一金屬膜（如鋁、鈦、鋯、鉻等）、氮化物膜（TiN[鈦金]、ZrN〔鋯金〕、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN），以及氧化物膜（如TiO等）。PVD鍍膜膜層的厚度為微米級(jí)，厚度較薄，一般為0.1μm～5μm，其中裝飾鍍膜膜層的厚度一般為0.1μm~2μm，因此可以在幾乎不影響工件原來(lái)尺寸的情況下提高工件表面的各種物理性能和化學(xué)性能，并能夠維持工件尺寸基本不變，鍍后不須再加工。

多弧離子真空鍍膜機(jī)鍍膜技術(shù)具有以下特點(diǎn)：可以任意安裝使薄膜均勻。外加磁場(chǎng)可以改善電弧放電；使電弧細(xì)碎；旋轉(zhuǎn)速度加快；細(xì)化膜層微粒；對(duì)帶電粒子產(chǎn)生加速作用。金屬離化率高，有利于薄膜的均勻性和提高附著力，是實(shí)現(xiàn)離子鍍膜的良好工藝。一弧多用，既是蒸發(fā)源，又是預(yù)轟擊凈化源和離化源。