利用新納米技術(shù)開發(fā)的功能金屬氧化物薄膜材料（Functional Thin-Film metal-Oxides Materials，具有優(yōu)良的電磁傳導、物理化學和機械性能，可廣泛應用于節(jié)能照明、顯示電子、化合物檢測、柔性透明和氣體傳感等領域，具有開啟后硅基半導體電子新時代的巨大潛力。簡單地說，在真空中把金屬、合金或化合物進行蒸發(fā)或濺射，使其在被涂覆的物體（稱基板、基片或基體）上凝固并沉積的方法，也就是我們俗稱的真空鍍膜。歐盟第七研發(fā)框架計劃（FP7）提供980萬歐元資助，總研發(fā)投入1340萬歐元，由歐盟8個成員國德國（總協(xié)調(diào)）、英國、意大利、比利時、荷蘭、葡萄牙、希臘和斯洛文尼亞，微納米電子工業(yè)界聯(lián)合科技界組成的歐盟微納米電子技術(shù)平臺（ORAMA ETP）。在建立緊密合作型研發(fā)創(chuàng)新公私伙伴關(guān)系（PPP）的同時，將長期致力于功能金屬氧化物薄膜材料的研制開發(fā)及商業(yè)化推廣應用?！?

真空磁控陰極濺射法：平板玻璃在具有高真空的真空腔體內(nèi)，處在負電壓的兩極間的工作氣體正離子在正交電磁場的作用下飛向陰極，在很短的陰極位降區(qū)內(nèi)獲得很大的能量去迅速轟擊靶材，從而使陰極(靶材)原子飛向玻璃基片--玻璃沉積膜層，濺射出的二次電子(此過程稱γ過程)在電磁場作用下按旋輪線運動參與碰撞電離，蟹衍載流子，這樣就能源源不斷地轟擊陰極，提供足夠數(shù)量的正離子，形成的等離子區(qū)使持續(xù)輝光放電，其可以一次完成多層鍍膜，有著的膜層均勻性，的邊緣復蓋和良好的附著力。BOPET、BOPA薄膜基材鍍鋁前不需進行表面處理，可直接進行蒸鍍。鍍膜有著優(yōu)于和區(qū)別于其它真空磁控濺射鍍膜機的地方是：它的平面磁控靶上的磁場是由環(huán)形磁鐵產(chǎn)生的，可將半園環(huán)形磁鐵看成是無限T微扇柱狀磁鐵的組合 。所以，其相應點磁標勢較穩(wěn)定，才能生產(chǎn)出均勻牢固的鍍膜層。

真空鍍膜加工清除鍍膜室內(nèi)的灰塵，設置清潔度高的工 作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求。這種鍍膜玻璃的色澤單調(diào)、透光率大，大面積玻璃膜層不均勻，不適宜作幕墻玻璃?？諝鉂穸却蟮牡貐^(qū)，除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部 件認真清洗外，還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴散泵返油，對加熱功率高的擴散泵必須 采取擋油措施。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進入鍍膜室前一定要做到認真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物，

鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導磁軟磁鐵氧體小磁芯體積小、性能高、用量大；這些產(chǎn)品的表面必須采用Parylene來涂上一層保護層，以增強產(chǎn)品表面的絕緣性、堅固性、光滑性。這種涂層是傳統(tǒng)的還氧噴涂所無法達到的；稀土永磁產(chǎn)品在汽車、音箱、磁療、電機等領域的運用越來越廣泛。真空鍍膜加工對于高度不穩(wěn)定的、對水蒸氣敏感的表面，一般應貯存在真空干燥箱中。但是這類產(chǎn)品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產(chǎn)品的耐鹽霧時間僅能達到70-100小時。而采用Parylene可以達到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補穩(wěn)定特性制作）。