什么是電子氣體

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過道，其中大約要使用種不同種類的電子氣體。

電子氣體輸送系統(tǒng)是指為滿足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數(shù)、穩(wěn)定地輸送到工藝生產(chǎn)設備的用氣點。根據(jù)氣體性質和供應包裝的不同。

工業(yè)氣體的危險性：

燃燒性，可燃氣體在燃燒時一旦泄漏燃爆，后果是相當嚴重的。液化氣體的特點是沸點低，極易氣化，因而突然泄壓時造成的閃蒸（即瞬間的迅速氣化）是一般氣體所沒有的特殊現(xiàn)象。一般情況下，閃蒸量約為泄漏量的20%—30%，已蒸發(fā)氣體自然地向大氣擴散。這種閃蒸現(xiàn)象對于可燃的液化氣體來說特別危險，因為迅速蒸發(fā)使氣體來不及擴散而滯留在一定的空間范圍與空氣混合形成了燃爆性氣體，這就是意味著已具備發(fā)生燃爆的先決條件。通常比空氣輕的氣體在接近地面的大氣中垂直擴散大于水平擴散；而比空氣重的氣體在大氣中則容易沉降，因而主要是水平擴散。水平擴散的結果會使氣體在風向下沿地面大范圍的空間里擴散；那后果是不堪設想的。燃燒是一種同時伴有發(fā)光、發(fā)熱的激烈的氧化反應。燃燒必須同時具備可燃燒、助燃物、導致燃燒的能源這三個條件，缺少其中任何一個條件燃燒便不能發(fā)生。空氣本身就是一種助燃的氧化劑，這一條件隨時隨地都將存在?？扇嘉锞褪强扇細怏w本身。關鍵的問題是要控制好點火源和防止氣瓶中可燃氣體的泄漏。

氧氣在常溫常壓下為無色無臭無味的氣體。液化后成藍色。氧本身不燃燒，但能助燃。氧的化學性質活潑能與多種元素化合發(fā)出光和熱，也即燃燒。當氧與易氧化物質反應產(chǎn)生的熱積蓄到一定程度時就會自燃。當空氣中氧的濃度增加時火焰的溫度和火焰長度就會增加，可燃物的著火溫度下降。氧與氫的混合氣具有燃爆性。液氧和有機物（如油脂等）及其它易然物質共存時，特別是高壓下，也具有燃爆的危險性。