氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

隨著科技的迅猛發(fā)展，氦質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢涮儀，廣泛應(yīng)用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業(yè)，綜觀較新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn)，氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進(jìn)方向發(fā)展，這些特點很好地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求，也極大的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。真空法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，可以準(zhǔn)確定位，能實現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。

離子檢測器的作用是手機質(zhì)量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴散到質(zhì)譜管，不會對系統(tǒng)有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產(chǎn)品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環(huán)境，干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀在消防器材檢漏應(yīng)用三

檢漏形式說明

使用氦質(zhì)譜檢漏儀 吸槍的模式檢測消防鋼瓶是業(yè)界較新所采用的廣泛的檢測方法，將消防鋼瓶沖入一定量的氦氣，使得鋼瓶內(nèi)外有壓力差，如果有泄露，氣體就會從鋼瓶內(nèi)部漏出，使用氦質(zhì)譜檢漏儀 吸槍在鋼瓶焊接處還有閥門處慢慢游走，吸槍吸到有氦氣的話就會產(chǎn)生報警，工件被確認(rèn)有漏，從而達(dá)到測量效果。整機由微機控制，菜單的選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

四、消防器材檢漏應(yīng)用

氦質(zhì)譜檢漏儀 在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用，代表了先進(jìn)的科技水準(zhǔn)，以及人們對產(chǎn)品品質(zhì)的要求的提高，比如消防器材的檢漏，早在國內(nèi)采用的是浸水法，將滅火器放在水中，如果沒有氣泡冒出，就認(rèn)為是合格的，此種方法完全靠人的觀察，并且當(dāng)遇到微小泄露時，根本無法察覺，很可能在以后的使用中遇到問題，甚至可能危及生命，使用氦質(zhì)譜檢漏儀 則大大降低了泄露風(fēng)險，即使對微小的泄露也會偵測到，并且加快了生產(chǎn)效率。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

測試方法，使用氦質(zhì)譜檢漏儀的正壓法，先將滅火器內(nèi)沖入氦氣，然后放在密閉腔體內(nèi)，腔體與氦質(zhì)譜檢漏儀 相連，工作時先將腔體內(nèi)抽真空，到達(dá)一定的真空度后開始檢漏，測試漏率在10-5 mbar.l/s，下視為合格（實際測試在 24 小時泄露 2 ml.約為10-5 mbar.l/s)。由于盒內(nèi)氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定壓力，因此有效提高了檢漏靈敏度。

今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的形式說明，希望對您有所幫助！

氦質(zhì)譜檢漏常見問題

氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)在比較常用的檢測儀器，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科儀的小編就和大家來一起總結(jié)一下！

一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環(huán)境本底低

（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對環(huán)境沒有污染，不與其他物質(zhì)反應(yīng)，可以混合到任意濃度

（3）無毒，可以用在食品工業(yè)

（4）在質(zhì)譜儀譜圖中易于與其他物質(zhì)區(qū)分

（5）比空氣輕，運動速度快

（6）氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔

（7）其它氣體也可以

二、噴氦檢漏的注意事項。

（1）被測系統(tǒng)應(yīng)盡量清潔，干燥，無油

（2）如果測量條件發(fā)生變化（溫度），需要重新對檢漏儀做內(nèi)部較準(zhǔn)

（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應(yīng)注意方向

（4）盡量不要使用密封脂（油脂會大量吸附氦氣）

（5）不要向環(huán)境釋放大量氦氣

（6）真實的漏率信號應(yīng)當(dāng)是快速上升的信號，相對緩慢下降的信號

三、漏率（leak rate）

在已知漏泄處兩側(cè)壓差的情況下，單位時間內(nèi)流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。

注：采用國際單位制時，漏率單位為：Pa?m3/s。

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氦質(zhì)譜檢漏儀光無源器件檢漏

光無源器件是不含光能源的光能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量，插入損耗是其主要性能指標(biāo)。光無源器件有光纖連接器、光開關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用。以上是由北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司發(fā)表內(nèi)容，如有需要，歡迎撥打圖片上的熱線電話。

光無源器件是不含光能源的光功能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量，插入損耗是其主要性能指標(biāo)。光無源器件有光纖連接器、光開關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用。由于檢漏技術(shù)的應(yīng)用，提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。

無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分，也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于 5×10-8  mbar.l/s，因此需要進(jìn)行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位，定量漏點，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已廣泛應(yīng)用于光無源器件的檢漏。真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)在汽車空調(diào)的應(yīng)用一水檢和氦檢兩種檢漏方法的分析目前，水檢和氦檢兩種檢漏方法國內(nèi)汽車空調(diào)兩器檢漏主要的方法，下面將分析兩種檢漏方法的優(yōu)缺點。