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凈化車間裝修施工的作用 凈化車間是將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、189*1564*4129靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
了解潔凈室首先需要了解污染物,潔凈車間技術的主要控制對象就是對室內潔凈環(huán)境產生影響的室外污染物質,包括粉塵、煙、煙霧、化學污染物、微生物等。 污染物的來源分室外大氣及室內產塵,其中室內產塵人是主要控制對象,人活動時的發(fā)塵量比靜止時大好幾倍。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準。目前凈化車間應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。
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凈化車間無塵室等級分類:
世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
209E與209D等之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。 潔凈網(wǎng)z:Wg1pj