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影響減薄機減薄硅片平整度的因素有哪些?
減薄前將硅片粒結合在行星齒輪片上的沾片方法是十分重要的。因為當沾片的方法不合理時,減薄后的硅片厚度公差將會隨之增大,所以在沾片前我們要故的首步是將硅片按厚度分好檔,然后把硅片用蠟均勻地沾在行星齒輪片正、反兩面上,需要注意的是同一輪研磨的四塊或五塊行星齒輪片上的硅片厚度-定要均勻,如果硅片不按照厚度去分檔,而任意沾片,想要提高減薄后的硅片厚度公差是相對比較困難的。
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誠薄機對晶片誠薄的必要性及作用?
根據(jù)制造工藝的要求來講,目前對晶片的尺寸、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶結構提出了較高的要求,因此,在制造工藝的過程中減薄機對晶片減薄是相對不可缺少的一部分。那么,關于晶片減薄的必要性及作用具體體現(xiàn)哪些方面呢?
1.提高芯片的散熱性能要求
在集成電路中,由于硅基體材料及互聯(lián)金屬層存在電阻,在電流的作用下,芯片要產(chǎn)生的發(fā)熱現(xiàn)象。而在芯片工作的過程中,由于部分熱量的產(chǎn)生,使得芯片背面產(chǎn)生內應力。芯片熱量逐漸升高,基體層之間的熱差異性加劇,這無疑加大了芯片的內應力。較大的內應力使芯片生產(chǎn),這是芯片損壞的主要原因之一。因此,只有通過減薄機對晶片背面進行減薄,才可以降低芯片熱阻,有效提高芯片的散熱性能,從而降低了芯片破損的風險,提高了集成電路的可靠性。2.集成電路制造工藝要求
通過對晶片減薄工藝后,使其更加有利芯片分離,在一定程度上提高了劃片的質量以及成品率。在許多集成電路制造領域內,大家對集成電路芯片超薄化的要求是越來越高,要想得到高質量的超薄芯片,我們就必須通過晶片減薄工藝的方式從而獲取。
通過以上兩點可以得出,只有通過減薄機對晶片減薄,才能更好的保證芯片的厚度及尺寸等方面的要求,這也足夠充分的體現(xiàn)了晶片減薄工藝的重要性。
硅片減薄機
主要用途:
非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。如: LED藍寶石襯底、光學玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。
工作原理:
1.本系列橫向研磨機為精密磨削設備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損,而且磨削均勻生產(chǎn)。
點:
1.可使工件加工厚度減薄到0. 02m厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在 0.002m范圍內。
2.減薄; LED藍寶石襯底每分鐘可減薄48um o硅片每分鐘可減薄250um o
3.系列研磨機采用CNC程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。