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常規(guī)沉積條件下的組合合成
脈沖激光沉積系統(tǒng)特點及優(yōu)勢:
可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術(shù)支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價比高;
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脈沖激光沉積設(shè)備介紹
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是比較理想的薄膜與涂層合成設(shè)備??芍苽涞谋∧ぐǖ铩⒀趸?、多層膜、鉆石、石墨烯、碳納米管、2D材料。Blue Wave還提供相關(guān)系統(tǒng)配件,例如基片加熱裝置、原位監(jiān)測工具。想要了解更多沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司的相關(guān)信息,歡迎撥打圖片上的熱線電話。此外,BlueWave還為您提供標準的薄膜以及材料涂層,例如氧化物涂層、導(dǎo)電薄膜、無定型或納米晶Si/SiC、晶體AlN-GaN、聚合物、納米鉆石、HFCVD鉆石涂層以及器件加工。
脈沖激光沉積系統(tǒng)的特點有哪些?
? 超高真空不銹鋼腔體
? 可集成熱蒸發(fā)源或濺射源
? 可旋轉(zhuǎn)的耐氧化基片加熱臺
? 流量計或針閥準確控制氣體流量
? 標準真空計? 干泵與分子泵
? 可選配不銹鋼快速進樣室
? 可選配基片-靶材距離自動控制系統(tǒng)
? 是金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬納米薄膜、多層膜、超晶格的較佳設(shè)備
以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容,希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多脈沖激光沉積的知識,歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。