特種氣體應用于國民經濟的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產的品種基本上滿足了市場的需求。電子特種氣體種類多，應用領域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導體技術的核心產品。自80年代1開始，我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世，其品種數(shù)目已與國外發(fā)達國家水平相近。

 特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據現(xiàn)已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產品統(tǒng)稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應通風干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當?shù)奈ｋU標記。 　

 氣體產品大致可以分為兩大類別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產品統(tǒng)稱為氣體產品.氣體產品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途。包裝標志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無　水，管路、閥門和容器不用時應密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離

 特種氣體廣泛應用于半導體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。特種氣體興起于60年代中期，作為基礎化工材料，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發(fā)展，其應用范圍也越來越廣泛。