氣體管道工程施工有什么標(biāo)準(zhǔn)？

1.所有的管路、閥門、壓力表都由高質(zhì)量的不銹鋼構(gòu)成，并且都是標(biāo)準(zhǔn)配件。所有氣體出口為不銹鋼閥門。工作臺上氣體出口由單獨(dú)的閥門來控制。引到工作臺的氣體管路將安裝單獨(dú)的球閥或針閥來控制。

2.所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管SS-316L組成，銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方(比如通風(fēng)柜)

3.根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的用氣量，計(jì)算供氣壓力、流量和管道的內(nèi)徑，所有氣體主管道原則上不低于9.52mm(3/8in,儀器空氣主管道直徑為12.7mm).管路末端，原則上不低于6.35mm(1/4in,也可根據(jù)實(shí)際使用量而定)。

4.每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的閥門、減壓閥門、壓力表。此外，對于供應(yīng)多臺分析儀器的氣體管路，另外還需要?dú)怏w壓力控制指示裝置。所有氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)，才可以使用壓力配件。

5.氣體管路的支架要求耐腐蝕，可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。每隔1.5m左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置。

6.所有彎曲處都要有支撐。所有“U”性彎曲處根據(jù)安裝情況，需要有支撐。

特氣管道系統(tǒng) Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣。公司提供從供氣系統(tǒng)；實(shí)驗(yàn)室是一個(gè)特殊的工作區(qū)域，從安全、經(jīng)濟(jì)社會效應(yīng)及實(shí)際使用效益角度考慮，形成系統(tǒng)的供氣迫在眉睫，實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的安全系數(shù)應(yīng)通過集中供氣來實(shí)現(xiàn)，氣瓶供氣已逐步淘汰。排氣處理、監(jiān)視系統(tǒng)的綜合管理系統(tǒng)；建立以安全為第i一的特氣管理輸送系統(tǒng)。提供設(shè)計(jì)、選型、制造、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精i確性和準(zhǔn)確性。聯(lián)接時(shí)，一般在承插口的槽內(nèi)先填入麻絲、棉線或石棉繩，然后再用石棉水泥或鉛等材料填實(shí)，還可在承插口內(nèi)填入橡膠密封環(huán)，使其具有較好的柔性，容許管子有少量的移動。

工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)i藥、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案；逐步成為行業(yè)領(lǐng)i先的整體系統(tǒng)供應(yīng)商。

高純氣體配管及附件材質(zhì)的選擇

選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。聯(lián)接時(shí)根據(jù)氣體的性質(zhì)、壓力和溫度選用不同的法蘭和密封墊片，利用螺栓夾緊墊片保持密封。目前超大規(guī)模集成電路前工序高純氣體輸送系統(tǒng)管道材料采用不銹鋼光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼電拋光管（SS316L-EP）等，但是對要求控制高純氣體中總雜質(zhì)含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應(yīng)用SS316L-EP管。

注：①管路型式以氣體特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應(yīng)氣體，則選用高i級別的SS316L-EP管；使用與芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體則選用SS316L-BA管。

②對于自燃爆i炸，有劇i毒的特種氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮使用雙套管，它的內(nèi)/外管材質(zhì)一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設(shè)計(jì)的主要目的有兩點(diǎn)，首先可保護(hù)內(nèi)管直接受到外力撞擊，其次能將由內(nèi)管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關(guān)的檢測設(shè)備檢測，目前常用的設(shè)計(jì)有正壓和負(fù)壓兩種方式，負(fù)壓設(shè)計(jì)是將內(nèi)外管間抽成真空，正壓設(shè)計(jì)則是灌以氮?dú)饩S持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報(bào)器檢知泄漏狀態(tài)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)已成為實(shí)驗(yàn)室的主流，其優(yōu)勢主要體現(xiàn)在集中供氣更安全、更經(jīng)濟(jì)、純度更高，工作流程更優(yōu)化。

通常采用的方法有機(jī)械噴砂、化學(xué)溶液清洗、化學(xué)拋光、電拋光等，目前廣泛應(yīng)用的管材有光亮退火管和電拋光管。

氣體產(chǎn)品種類繁多，大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類。（7）氣瓶在儲存、使用時(shí)必須直立放置，工作地點(diǎn)不固定且移動頻繁時(shí)，應(yīng)固定在專用手推車上，防止傾倒，嚴(yán)禁臥放使用。一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大，但對純度要求不高。特種氣體產(chǎn)銷量雖小，但根據(jù)不同的用途，對不同特種氣體的純度或組成、有害雜質(zhì)允許的含量、產(chǎn)品的包裝貯運(yùn)等都有極其嚴(yán)格的要求，屬于高技術(shù)，高附加值產(chǎn)品。

高純氣體(High Purity Gases)，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級純度的氣體。5米左右，氣體管路就需要有支架，另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑，設(shè)置合適的支架位置。對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，Ar，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔铮兌葹?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。