無塵車間潔凈室管理制度

1 半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強(qiáng)制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴(kuò)建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進(jìn)行管理。

實力公司用案例說話，全國各地竣工潔凈、凈化、無塵車間、廠房工程眾多，免費咨詢、設(shè)計，可就近安排去感興趣的工程項目實地參觀考察

無塵車間該如何防止微粒子污染呢？

在高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。無錫恒盛空調(diào)凈化有限公司始終處在行業(yè)的地位，也早已敏銳的預(yù)知市場需求，提前做好了技術(shù)儲備，近一年來已經(jīng)承建了多個生物安全實驗室，并已竣工完成通過驗收，客戶主要在無錫、上海、北京等經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)地區(qū)。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數(shù)值。同時，空氣的流向也必須要有控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域，使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi)，而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。

控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

凈化無塵車間施工的特點

一、潔凈室內(nèi)的污染源：

潔凈室內(nèi)的污染源主要來自四個方面：

1、大氣中含塵、含菌、凈化系統(tǒng)中新風(fēng)帶入的塵粒和微生物；

2、作業(yè)人員發(fā)塵；

3、建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)、設(shè)施的產(chǎn)塵。  

二、凈化參數(shù)（一般要求）

換氣次數(shù)：100000萬級≥15次；10000級≥25次；1000級≥50次。

平均風(fēng)速：10級、100級（斷面風(fēng)速）0.3-0.5 m/s；

溫度：冬季＞16 ℃ 夏季＜26℃；波動±2℃。

相對濕度宜45-65%；

噪聲≤65dB(A)；

照度≥200LX

請注意你所需要的產(chǎn)品的檔次，國內(nèi)市場上超凈工作臺一般分檔為：

經(jīng)濟(jì)型：采用國標(biāo)的空氣過濾器，指標(biāo)低于國際標(biāo)準(zhǔn)，外觀也欠佳;風(fēng)機(jī)一般是采用國產(chǎn)的普通風(fēng)機(jī)，剛開始工作時性能較好，時間長了性能無法保證;為了降低成本，多不采用外排空氣過濾器;控制系統(tǒng)簡單，外觀欠佳。

普通型：全進(jìn)口的或多采用國外原料和國外技術(shù)在國內(nèi)生產(chǎn)的空氣過濾器，性能接近進(jìn)口產(chǎn)品;風(fēng)機(jī)采用中檔產(chǎn)品，也有用的風(fēng)機(jī)，比較可靠，但多數(shù)不是為超凈工作臺的特殊需要而設(shè)計的，所以長時間使用中的風(fēng)量不均勻是它的特點;綜合性能比較好，不過控制系統(tǒng)比較簡單，玻璃門一般是手動的。針對排氣的對策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。

全進(jìn)口產(chǎn)品或多采用原裝的過濾器;風(fēng)機(jī)使用的是按超凈工作臺使用特性設(shè)計的進(jìn)口的風(fēng)機(jī);主要性能較普通型為高;控制系統(tǒng)為用戶專門優(yōu)化過：玻璃門多數(shù)是由電動機(jī)驅(qū)動的，箱體內(nèi)有傳感器，可以反映過濾器的工作情況，以提高產(chǎn)品的可靠性，少數(shù)產(chǎn)品使用嵌入式控制系統(tǒng)。2）進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。