由于高純石墨坩堝具有良好的熱導(dǎo)性和耐高溫性能，在高溫使用中，熱膨脹系數(shù)小，對(duì)急熱、急冷具有一定的抗應(yīng)變能力，對(duì)酸堿性溶劑的抗腐蝕性能較強(qiáng)，具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性。高純石墨坩堝應(yīng)用范圍十分廣泛，主要應(yīng)用于熔煉各種銀、鋁、鉛、銅、鋅等有色金屬及中碳鋼和稀有金屬。高純石墨坩堝質(zhì)量穩(wěn)定，碳?xì)謨r(jià)格，使用壽命長(zhǎng)，大幅度降低了燃耗，降低了人工勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了人工勞動(dòng)強(qiáng)度，創(chuàng)造了更好的經(jīng)濟(jì)效益。


損壞速度又遭受滾動(dòng)軸承材料、軸和滾動(dòng)軸承表層生產(chǎn)加工狀況、荷載、速率及周邊物質(zhì)等標(biāo)準(zhǔn)的危害。在干運(yùn)行的狀況下,滾動(dòng)軸承容許的PV值還立即遭受滾動(dòng)軸承材料的危害,在高溫下容許PV的值務(wù)必比超低溫時(shí)要小得多。當(dāng)滾動(dòng)軸承浸在液體里或是是液體所飛濺的狀況下(濕運(yùn)行),其磨擦和損壞可大幅度降低。因之液體可以協(xié)助逸散因磨擦而造成的發(fā)熱量,那樣就進(jìn)一步提高高純石墨滾動(dòng)軸承容許的PV值,在具體標(biāo)準(zhǔn)下濕運(yùn)行容許的PV值將會(huì)較干運(yùn)行時(shí)高于近千倍。

起吊電極時(shí)，墊松軟物到備用電極裝接頭一端的下面，以防止地面碰損接頭;用吊鉤伸入吊具的吊環(huán)后吊起，吊運(yùn)電極要平穩(wěn)，防止電極由B端松脫或與其它的固定裝置碰撞。

將備用電極吊到待接電極上方，對(duì)準(zhǔn)電極孔后慢慢落下;旋轉(zhuǎn)備用電極，使螺旋吊鉤與電極一起轉(zhuǎn)動(dòng)下降;在兩支電極端面相距10-20mm時(shí)，再次用壓縮空氣清理電極兩個(gè)端面和接頭的部分;在完全下放電極時(shí)，不可過猛，否則因猛烈碰撞，會(huì)導(dǎo)致電極孔和接頭的螺紋受損。

石墨舟推舟系統(tǒng)：石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后，石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出，自動(dòng)門關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì)，在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào)，再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān)，所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。 管式PECVD系統(tǒng)：即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。