電子束結(jié)構(gòu)介紹

粒子增速器的結(jié)構(gòu)可以與顯像管類比。電子束蒸發(fā)鍍膜機安裝介紹安裝臺架：整個設(shè)備安放在一個用型鋼焊接而成的臺架上，此臺架及圍板均進行防銹及噴塑處理。顯像管中的電子槍對應(yīng)于增速器的電子槍或離子源，顯像管中加速電子用的高壓電極對應(yīng)于增速器中的高壓加速電極及加速腔。顯像管中控制電子運動的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈，對應(yīng)于增速器中控制粒子運動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件，如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。對粒子增速器的粒子運行管道來說，為了減少粒子在運動中與殘余氣體碰撞而造成粒子的丟失和束流性能變壞，所要求的真空度比顯像管要高數(shù)千到數(shù)萬倍。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，根據(jù)科學(xué)家對粒子能量和流強的不同要求，陸續(xù)產(chǎn)生了不同原理、不同結(jié)構(gòu)的多種增速器。

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電子束操作及注意事項

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務(wù)必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發(fā)前電子槍的陰極燈絲應(yīng)預(yù)熱，預(yù)熱電流為0.6A，預(yù)熱時間新陰極5分鐘以上（應(yīng)緩慢調(diào)至0.6A，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發(fā)前對材料先預(yù)熱除氣。?

⑤蒸發(fā)完后，按下列順序關(guān)閉高壓電源：關(guān)蒸發(fā)檔板→關(guān)閉高壓→燈絲電源調(diào)至預(yù)熱0.6A的位置→關(guān)閉束流調(diào)節(jié)電源并調(diào)至低位置→關(guān)閉磁場電源，工作時操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發(fā)室放氣

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電子束鍍膜屬于蒸鍍還是濺射？

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1.蒸發(fā)鍍膜和濺射鍍以及離子鍍都是物理氣相沉積（PVD）的工藝方法。

2.蒸發(fā)鍍主要包括：電阻加熱蒸發(fā)、感應(yīng)加熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、激光加熱蒸發(fā)、離子束蒸鍍等。

3.您所說的E型槍鍍膜和直型電子槍鍍膜都是屬于熱蒸發(fā)鍍膜的范疇。

4.S槍濺射實際就是錐形磁控濺射靶，陰極靶材為環(huán)狀錐形，安裝在水冷座上。2、分子篩吸附裝置，避免機械泵返油造成膜層污染，提高薄膜純凈度。環(huán)狀磁鋼套在靶材外邊形成曲線磁場，其平行靶面的磁場分量和垂直于靶面的電場分量形成正交電磁場。電子束被約束在靶面附近運動，電子流密度很大，在靶面附近產(chǎn)生很強的非彈性碰撞，電離幾率很大，形成很強的等離子體。