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發(fā)布時(shí)間:2021-08-03 20:13  






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愛德華NXT240D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵,有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為240l/s。nEXT泵采用愛德華成熟的軸承技術(shù),上軸承為磁懸浮軸承,下軸承為油潤滑陶瓷軸承,并改進(jìn)轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì),使其更加有效地實(shí)現(xiàn)分子拖曳行程,終提高抽速和壓縮比,同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)了用戶自行維護(hù)。它們采用24V到48V直流無傳感器電機(jī),內(nèi)置驅(qū)動,與愛德華的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種預(yù)設(shè)功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽氣,但在該功率下達(dá)到滿轉(zhuǎn)速的加速時(shí)間較長。我們還提供為半導(dǎo)體設(shè)備制造商高度專業(yè)化的解決方案,通過優(yōu)化過程監(jiān)控、分析和控制,幫助他們提高生產(chǎn)量,延長工具正常作業(yè)時(shí)間。


基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。





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