氫氣檢漏法的優(yōu)勢(shì)

制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術(shù)的現(xiàn)狀：在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過(guò)程中，目前常使用氦檢漏技術(shù)來(lái)查找微小的泄漏，而保壓測(cè)試和水浴法常被用來(lái)檢測(cè)較大的泄漏。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會(huì)使用鹵素檢漏儀對(duì)整個(gè)產(chǎn)品再進(jìn)行一次檢漏。一旦出現(xiàn)信號(hào)響應(yīng)，說(shuō)明有氫氣通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。由于保壓測(cè)試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長(zhǎng)期以來(lái)，氦檢漏技術(shù)是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段，吸槍式氦檢漏技術(shù)一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會(huì)吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來(lái);所有的氦氣檢漏儀器機(jī)構(gòu)的離子收集板，對(duì)氦氣都會(huì)產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集板上，并儲(chǔ)存一定時(shí)間，然后再慢慢釋放出來(lái)，從而造成本底的噪音等問(wèn)題。

無(wú)論是在漏點(diǎn)定位還是在泄漏測(cè)試應(yīng)用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個(gè)行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)得到了廣泛使用。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢(shì)。這種方法操作簡(jiǎn)便，人為因素較小，不同檢測(cè)人員所得到的檢測(cè)結(jié)果基本相同。其價(jià)格非常低廉，很容易在各個(gè)氣體供應(yīng)商處購(gòu)得。現(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術(shù)可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當(dāng)于0.1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時(shí)氦氣檢漏法要增加一些輔助設(shè)備，如氦氣回收系統(tǒng)等。

真空設(shè)備檢漏

聽(tīng)音法

氣體從小孔中噴出時(shí)，會(huì)發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類(lèi)等。根據(jù)氣體漏出時(shí)發(fā)出的聲音判斷有無(wú)泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽(tīng)清。使用聽(tīng)診qi，某種程度上可以消除周?chē)胍舻挠绊?，?tīng)清泄漏聲音，但有時(shí)與泄漏無(wú)關(guān)的聲音（例如電機(jī)的聲音）也會(huì)混雜進(jìn)來(lái)，從而影響檢漏靈敏度。3MPa，周?chē)浅０察o的條件下，可以聽(tīng)出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時(shí)其它聲音也同時(shí)放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。在檢測(cè)壓力為0.3MPa，周?chē)浅０察o的條件下，可以聽(tīng)出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)。使用聽(tīng)診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點(diǎn)。如單憑耳朵聽(tīng)，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點(diǎn)，即發(fā)聲地點(diǎn)。由于檢測(cè)環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測(cè)法并用。

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設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測(cè)的專(zhuān)用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便，檢測(cè)迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測(cè)量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，用氦氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢(shì)。質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離，在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過(guò)測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對(duì)應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。

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