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物理氣相沉積(PVD)
物理氣相沉積是指在真空條件下,用物理的方法,使材料汽化成原子、分子或電離成離子,并通過(guò)氣相過(guò)程,在材料表面沉積一層薄膜的技術(shù)。
物理沉積技術(shù)主要包括真空蒸鍍、濺射鍍、離子鍍?nèi)N基本方法。
物理氣相沉積具有適用的基體材料和膜層材料廣泛;工藝簡(jiǎn)單、省材料、無(wú)污染;獲得的膜層膜基附著力強(qiáng)、膜層厚度均勻、致密、少等優(yōu)點(diǎn)。
廣泛用于機(jī)械、航空航天、電子、光學(xué)和輕工業(yè)等領(lǐng)域制備耐磨、耐蝕、耐熱、導(dǎo)電、絕緣、光學(xué)、磁性、壓電、滑潤(rùn)、超導(dǎo)等薄膜。
氣相沉積技術(shù)是指將含有沉積元素的氣相物質(zhì),通過(guò)物理或化學(xué)的方法沉積在材料表面形成薄膜的一種新型鍍膜技術(shù)。
根據(jù)沉積過(guò)程的原理不同,氣相沉積技術(shù)可分為物理氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)兩大類。
鈍化是將金屬置于(亞、、鉻酸鹽)或者(重鉻酸鹽)溶液中處理,使金屬表面生成一層鉻酸鹽鈍化膜的過(guò)程,又稱鉻酸鹽處理。
鉻酸鹽鈍化膜主要有三價(jià)鉻與六價(jià)鉻的化合物以及基體金屬的鉻酸鹽組成。外觀隨合金成分、膜厚而變化,可由無(wú)色到彩虹色或棕黃色。膜層具有良好的耐蝕性和裝飾性;膜層緊密,與基體結(jié)合較好,對(duì)基體金屬可起到隔離保護(hù)作用。膜中的三價(jià)鉻不溶于水,構(gòu)成膜的骨架,使膜有較高的強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性。而六價(jià)鉻是可溶性的,在膜中起填充作用,在潮濕的大氣中,即使膜被劃傷,六價(jià)鉻也能溶于水生成鉻酸鹽,使劃傷處重新鈍化而具有自愈合能力。
物理清潔主要采用天然物質(zhì)(如:經(jīng)處理后的玉米芯)與水混合對(duì)金屬進(jìn)行清洗。玉米芯具有韌性好、吸水性強(qiáng)等特質(zhì),環(huán)保安全,清潔能力強(qiáng)。
激光清潔是采用高能激光束照射工件表面,使表面的污物、顆粒、銹斑等附著物發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離,從而達(dá)到清潔凈化的工藝過(guò)程。它是一種完全的干式清洗過(guò)程,不需要使用清潔液或其他化學(xué)溶液,是一種綠色清潔工藝,并且清潔度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于化學(xué)清洗工藝。但成本較高,多用于大型金屬設(shè)備的表面清潔。