在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數(shù)量，遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。

　 無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

    潔凈室吸塵器是無塵廠房、車間專用的強力真空專用吸塵器，可迅速、便捷、地完成清潔工作。特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。當你使用專用吸塵器時，可以減少您清潔廠房的次數(shù)，因為它不會二次擴散灰塵，并可凈化室內(nèi)空氣。有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。較強的吸力可吸除更深層的粉塵。設計新穎輕巧，符合人體工學，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。專用吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質(zhì)，美國太空總署特別使用專用專用吸塵器清除貨倉內(nèi)的微細粉塵。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。

   潔凈室（無塵室）吸塵器的主要組成：

   大扒頭：當清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。

   小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺底部的灰塵和顆粒。

   圓毛刷：工作范圍主要集中在工作臺臺面，清楚工作臺面細微的小顆粒

   伸縮桿：增大清掃范圍領域。

   軟管：機器正常工作時，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經(jīng)過吸口有軟管傳遞到過濾系統(tǒng)。

   集塵袋：潔凈室吸塵器的過濾系統(tǒng)，也是為重要的環(huán)節(jié)，收集人眼能分辨的小顆粒，對保護馬達和過濾器有重要作用。

   電源開關：控制吸塵器的啟動和關閉。

   過濾器：過濾器是吸塵器的第四大過濾系統(tǒng)，也是后一個環(huán)節(jié)，過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之后的空氣達到100級以上。