掩模印刷法

對(duì)于高密度布線的LTCC 基板， 采用掩模印刷法比較合適。掩模版材料通常采用0.03-0.05 mm厚的黃銅、不銹鋼或聚酯膜制作， 在上面刻成通孔。通孔漿料被裝在一個(gè)球囊里。填充通孔時(shí)， 使用將生瓷片定位到真空平臺(tái)上的同一組定位銷(xiāo)將掩模校準(zhǔn)定位到部件上， 通過(guò)球囊后面的氣壓力將漿料擠壓通過(guò)掩模， 漿料連續(xù)的流過(guò)掩模， 直到所有通孔都被完全填充為止。當(dāng)沖頭直徑小于100μm后，由于堅(jiān)固度下降，安裝和操作沖頭將越來(lái)越難。因漿料是被直接擠壓入孔， 所以可以實(shí)現(xiàn)微通孔的填充， 且效果較好。同時(shí)控制漿料流變性、黏度和印刷參數(shù)， 通過(guò)精心操作可獲得100 %通孔盲孔率， 提高基板成品率[ 8-9] 。由掩模版印刷法能很容易實(shí)現(xiàn)150μm 以上通孔的填充。

濾波器原理設(shè)計(jì)

帶通濾波器通過(guò)若干諧振電路的組合，實(shí)現(xiàn)濾波效應(yīng)。帶狀線型濾波器的諧振單元不再選用集總模式下的電感電容，而是通過(guò)一段傳輸線來(lái)實(shí)現(xiàn)。此款帶通濾波器選擇六條帶狀線形成帶通效應(yīng)，等效為六個(gè)諧振單元，相鄰諧振單元之間通過(guò)磁耦合的方式傳遞能量。如何綜合實(shí)現(xiàn)諸多要求的濾波器，必然成為今后研究的重要熱點(diǎn)之一為了對(duì)100μm及以下的通孔進(jìn)行高質(zhì)量的填充，需要進(jìn)行多重印刷，提高壓力并改善其他設(shè)置。初步設(shè)計(jì)出的六級(jí)帶狀線帶通濾波器，雖然有著帶通濾波的作用，但性能不佳，阻帶插損不夠，與既定的技術(shù)指標(biāo)相去甚遠(yuǎn)。因此，考慮引入Z字形結(jié)構(gòu)，通過(guò)交叉耦合的方式來(lái)引入傳輸零點(diǎn)，以期改善其不良的邊帶抑制度問(wèn)題。

此時(shí)已基本達(dá)到初步設(shè)計(jì)要求，為了優(yōu)化濾波器性能，引入U(xiǎn)形結(jié)構(gòu)，用以加強(qiáng)諧振級(jí)之間的磁耦合效應(yīng)，完成終的設(shè)計(jì)目標(biāo)。信號(hào)可以盡可能地?zé)o損通過(guò)，而在此頻率范圍以外，六安ltcc工藝設(shè)備，信號(hào)需要被盡可能地衰減不同微通孔的分析數(shù)據(jù)表明，沖頭的尺寸決定了通孔正面的開(kāi)口大小，背面通孔直徑受沖模開(kāi)口大小的影響。電路原理圖如圖1所示，其中L1和C1、L2和C2、L3和C3、L4和C4、L5和C5、L6和C6為六個(gè)等效為諧振單元的帶狀線，L7、L8、L9、L10、L11為相鄰帶狀線之間磁耦合等效的串聯(lián)電感，C16是加入Z字形結(jié)構(gòu)后的交叉耦合電容，L23和L45是引入U(xiǎn)形結(jié)構(gòu)后磁耦合等效串聯(lián)電感。

5G頻段數(shù)量的增加及天線有源化趨勢(shì)對(duì)射頻前端集成提出更高要求

由于5G相比4G將在更高頻的頻段C Band和毫米波上部署，而更高頻率的信號(hào)就意味著更大的饋線損耗，因此，將天線與射頻前端集成從而實(shí)現(xiàn)天線有源化就成為大勢(shì)所趨，這一集成趨勢(shì)在宏側(cè)就體現(xiàn)為基于Massive MIMO的AAU，在室分側(cè)就體現(xiàn)為由DAS向數(shù)字化室分的演進(jìn)，在手機(jī)側(cè)就體現(xiàn)為AiP（Antenna in Package）天線的誕生。此時(shí)已基本達(dá)到初步設(shè)計(jì)要求，為了優(yōu)化濾波器性能，引入U(xiǎn)形結(jié)構(gòu)，用以加強(qiáng)諧振級(jí)之間的磁耦合效應(yīng)，完成終的設(shè)計(jì)目標(biāo)。

 LTCC 瓷帶正面的通孔開(kāi)口大小與瓷帶厚度無(wú)關(guān)， 瓷帶背面的通孔尺寸隨著厚度的增加而減小。如果這兩個(gè)裝置沒(méi)有對(duì)準(zhǔn)，通孔質(zhì)量將會(huì)下降，且沖模會(huì)受損，沖頭也可能折斷。這是因?yàn)榧す馐木炔粔颍?形成的通孔呈現(xiàn)出圓錐形。微波濾波器是無(wú)源射頻器件中重要的組成部分，用以有效控制系統(tǒng)的頻響特性。直觀表現(xiàn)為，在濾波器所設(shè)定的額定頻率范圍內(nèi)，信號(hào)可以盡可能地?zé)o損通過(guò)，而在此頻率范圍以外，信號(hào)需要被盡可能地衰減。不同厚度的LTCC 瓷帶所制作的微通孔大小也是一致的， 即瓷帶厚度與通孔大小的比率對(duì)通孔質(zhì)量不會(huì)有影響。使用機(jī)械沖孔的方法， 在厚度為50-254μm的不同LTCC 瓷帶上形成的50， 75 和100μm 的微通孔。